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* * 表面光洁度标准 讲稿 2005/8/6 * 一.定义： 表面缺陷标准：依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20（或40-20）前者限制划痕大小，后者限制麻点大小。 道子、亮路都统称为划痕。 斑点、坑点、点子 都称为麻点。 规定长与宽的比大于4：1的为划痕；长与宽的比小于4：1的为麻点。 点子 划痕 * 当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时，等效直径的计算以区域进行：表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准（如有效孔径的区域），表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。 划痕 点子 A区20-10 B区80-50 如左图元件表面质量要求不同，则在判定A区是否符合要求时，应取内圆直径进行计算。而B区则取整个元件的圆直径 * 三角的面积为（低×高）/2=(a ×b)/2 三角等效直径D 长方形面积=长×宽=a ×b 长方形的等效直径D D 面积=π(D/2)2 a b 美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。 a h A区：20-10 B区：80-50 3mm 1mm 4mm 2mm 对于长方形元件（当长与宽的比5：1时）可以用简单公式：等效直径=（长+宽）/2来计算。如左图元件 A区等效直径为（1+3）/2=2mm B区等效直径为（2+4）/2=3mm