薄膜材料的制备方法.docVIP

纳米薄膜材料的制备方法 摘 要 纳米薄膜材料是一种新型材料,由于其特殊的结构特点,使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景。本文综述了近几年来国内外对纳米薄膜材料研究的最新进展,包括对该类材料的制备方法、 微结构、 电、 磁、 光特性以及力学性能的最新研究成果。 关键词 纳米薄膜;薄膜制备; 微结构;性能 21 世纪,由于信息、 生物技术、 能源、 环境、 国防 等工业的快速发展, 对材料性能提出更新更高的要求,元器件的小型化、 智能化、 高集成、 高密度存储和超快传输等要求材料的尺寸越来越小,航空航天、 新型军事装备及先进制造技术使材料的性能趋于极端化。因此, 新材料的研究