皮秒激光器的原理及应用.pdfVIP

. 皮秒激光器的原理及应用 * 激光技术对国民经济及社会发展的重要作用： 激光技术是二十世纪与原子能、 半导体及计 算机齐名的四项重大发明之一。 随着激光技术的不断发展， 激光应用已经渗透到科研、 产业 的各个方面，在汽车制造、航空航天、钢铁、金属加工、冶金、太阳能以及医疗设备等领域 都起到重要作用。 激光产业在我国发展了五十多年， 已经与多个学科形成了不同类型技术应 用，比如光电技术，激光医疗与生物光子学、激光加工技术、激光检测与计量技术、激光全 息技术、激光光谱分析技术、非线性光学、超快激光学、激光化学、量子光学、激光雷达、 激光制导、激光分离同位素、激光可控核聚变、激光武器等。 激光器及其配件在激光产业的整个产业链中占有非常重要的地位， 属于技术和专业性都 很强的产业。 激光通信、 激光存储和激光显示主要应用在信息领域。激光加工（包括激光切割、 激光 焊接、激光打标、激光钻孔等）和激光医疗则在医学和工业上应用广泛。 超短激光脉冲的激光切除的优点在很多应用中得到了证实， 直到最近也没有在工厂的地 板上发现这些应用的工业副产物。 在工业应用中， 除去质量因素以外， 可重复生产性和每个 零件的成本也是很重要的标准。 激光系统的可靠性当然和所使用的激光技术直接联系在一起。 每个零部件的成本基本上 和超短激光脉冲的重复频率直接联系在一起。 高附加值， 高重复率的生产力， 可靠的技术等 所有这些要求仅仅在最近通过二极管泵浦的皮秒激光器才完成。 皮秒激光器在大规模生产中的第一次应用在 The Photonics West2005 上被报道。 20ps 脉冲持续时间的 1 μJ 的脉冲被聚焦到薄的钢箔上，在脉冲光束的方向上一系列同心环被去 除。不同的同心圆环形成一个园盘， 去除材料的不同圆盘形成一个锥形孔， 这个孔在专业的 高质量的打印头中作为注入墨水的喷嘴。 在过去几年中， 绝大多数超快激光器制造商集中精 力在飞秒激光器的开发上。这些激光器需要一种复杂的 CPA 技术来保持峰值功率密度在某 一个损伤阈值下的放大阶跃。用这种方式，可以产生 mJ 水平的脉冲能量，但是重复率被限 制在几 KHZ 。比较而言几百μ J 的高脉冲能量对厚材料的钻孔或切割是有利的。柴油机的注 入喷嘴的钻孔就是一个例子， 这里 1mm 厚的钢板材料不得不被精密的打孔以致不需要进一 步的清洁处理。 LUMERALASER为了这个应用开发了皮秒激光器 STACCATO。因为它的脉冲时间在皮秒 围， STACCATO 激光系统不需要 CPA 技术。激光工作物质 Nd ：YVO4 允许用激光二极管直 接泵浦，使其具有高的脉冲能量和高的重复频率。 STACCATO 激光系统在 10ps 的脉冲持续 时间在 1064nm 时输出 10W 的平均功率，它的激光束接近衍射极限，能被很理想的聚焦。 * 与飞秒激光器相比， 达到 100KHZ 的非常高的重复频率保证了高的生产率。 在紫外光谱区 域许多材料有比较高的线形吸收系数，对材料的去除来说这是非常有利的。从 STACCATO 发出的红外激光辐射因为其非常高的峰值功率密度能够被转化成更短的激光波长 532nm ， 355nm 和 266nm 。当由 STACCATO 激