传感器 05压电式传感器.pptVIP

30 5.2 压电式传感器应用 ? 可用于机床监视，装运监视中的冲击检测， 碰撞检测，跌落测试，车辆动态评估和控制， 检测对负荷、疲劳和共振响应的结构动态分 析等 ? 不适合于静态或极低频率的测量 31 5.2 压电式传感器应用 ? 测量力、压力和位移（利用弹簧 — 质量系统），而且对这三 个量的测量十分相似。这种相似性使这几种传感器对这三 个量都很敏感，所以要求将相互干扰减至最小的特殊设计 ? 目前压电式传感器应用最多的仍是测力 ， 尤其是对冲击、 振动、加速度的测量 。迄今在众多型式的测振传感器中， 压电加速度传感器占 80% 以上 测力传感器 32 5.2 压电式传感器应用 ? 压电式刀具切削力测量 ? 利用压电陶瓷传感器测量刀具切削力。由于压电陶瓷元 件的自振频率高，特别适合测量变化剧烈的载荷。 ? 图中，压电传感器位于车刀前部的下方。进行切削加工 时，切削力通过刀具传给压电传感器，然后将切削力转 换为电信号输出，记录电信号的变化即可测得切削力的 变化。 33 5.2 压电式传感器应用 ? 压电式刀具切削力测量 —— Kistler 测力仪 34 5.2 压电式传感器应用 ? 压电式刀具切削力测量 —— Kistler 测力仪 三维力数据 三维力矩数据 传感器原理及应用 2014 年 5 月 4 日 Principles and Applications of Transducer 机械与汽车工程学院 主 讲：黄海鸿 电 邮： allenhuanghaihong@163.com 地 址：机械楼 417 室 1 第五章 压电式传感器 ? 原理：应用某些材料的 压电效应 ，是一种有源传感 器（或称发电式传感器）。 ? 压电效应 ：某些材料在受力时所产生的电极化现象。 ? 正压电效应 ：某些电介质在受到某一方向的 机械力 而变 形时，在一定表面上产生电荷，若外力变向，电荷极性 随之而变；当撤除外力后，又重新回到不带电状态 ? 逆压电效应 ：当在电介质的极化方向施加电场， 电场力 使其在一定方向上产生机械变形或机械应力；当撤除外 加电场时，变形或应力随之消失。又称 电致伸缩效应 ? 压电材料：具有压电效应的电介质 ? 自然界中有 20 多种单晶体，如： 石英 ? 人造压电陶瓷，如： 钛酸钡、锆钛酸铅 机械能 电能 2 压电式传感器 ? 用途 ? 是一种能量转换型传感器（ 机械能 - 电能 ） ? 是力敏感元件，将被测量（如 动态 作用力、压力、 加速度等）转换成压电器件的表面电荷量，以实 现非电量的电测目的 ? 第一节 压电转换元件的工作原理 石英晶体、压电陶瓷 ? 第二节 压电式传感器应用 3 5.1 压电转换元件的工作原理 ? 压电效应方程 ? 是关于压电体中表面电荷密度（电位移）或电场 强度、与应力（或应变）张量之间关系的方程组 ? 简单情况 ： 施加方向一定的作用力 F ， 产生的表面电荷为： Q = d F 式中， d 为压电系数 ? 通常情况 ： 电荷密度 q 与应力 σ 之间关系为： q = d σ 式中， d 为压电常数矩阵 极化面 F q 包括三个方向平面的电荷密度； σ 为三个方向的单向应力、剪切应 力； d 为 3 × 6 系数矩阵 力 - 电之间呈线性关系 ! 4 5.1 压电转换元件的工作原理 ? 压电材料 ? 石英晶体 ? 目前广泛应用成本较低的人造石英晶体。有很大的机械强度和 稳定的机械性能，温度稳定性好，但灵敏度低，介电常数小， 因此逐渐被其他压电材料所代替。 ? 至今石英仍是最重要的也是用量最大的振荡器、谐振器和窄带 滤波器等元件的压电材料 ? 压电陶瓷 ? 有较高的压电系数和介电常数，灵敏度高。机械强度不如石英 ? 新型压电材料 ? 压电半导体和有机高分子压电材料 5 5.1 压电转换元件的工作原理 ? 石英晶体 ? SiO 2 ，俗称水晶，为单晶体，有天然和人工之分。 目前传感器中使用的均是以居里点为573℃，晶 体的结构为六角晶系的 α - 石英。外形呈六角棱柱 体，由 m 、 R 、 r 、 s 、 x 共 5 组 30 个晶面组成 6 5.1 压电转换元件的工作原理 ? 石英晶体 ? 天然结构的石英晶体呈现一个正六面体的形状 ? 在晶体学中可以用三根相互垂直的轴来表示： X 轴 —— 电轴 ，经过六面体棱线； Y 轴 —— 机械轴 ，垂直于六面体棱面； Z 轴 —— 光轴 ，垂直于晶体截面 纵向 压电效应：沿 X 轴 方向的力 作用下产生电荷的压电效应； 横向 压电效应：沿 Y 轴 方向的力 作用下产生电荷的压电效应 沿 Z 轴 方向施加外力时， 不会产生任何压电效应 理想石英晶体的外形和坐标系 7 5.1 压电转换元件的工作原理 ? 石英晶体 ? 离子的排列