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考试方式:闭卷
满分:100分
题型
一、填空题(1分×10空)
二、选择题(2分×10)
三、名词解释(5分×4)
四、简答题(6分×5)
五、论述题 (10分×2)(前四章);1-溶胶-凝胶法;2. 凝胶(Gel)胶体颗粒或高聚物分子相互交联,空间网络状结构不断发展,最终使得溶胶液逐步失去流动性,在网状结构的孔隙中充满液体的非流动半固态的分散体系,它是含有亚微米孔和聚合链的相互连接的坚实的网络。;2. 提高溶胶稳定性的三个基本途径
(1)使胶粒带表面电荷;(2) 利用空间位阻效应;(3)利用溶剂化效应。 ;1. 如何用溶胶凝胶法制备薄膜及涂层?;3. 凝胶的产生途径有哪些?;4. 溶胶形成过程中水解度的影响(加水量),并举例说明?;(2)当加水量增大时:由于水解速度快,聚合反应主要或全部以失水缩聚的方式进行,从而形成具有二维或三维结构的聚合物,其水解和缩聚反应可表达为:
总的净反应为:
;水热法在特制的密闭反应器(高压釜)中,采用水溶液作为反应体系,通过对反应体系加热、加压(或自生蒸气压),创造一个相对高温、高压的反应环境,使得通常难溶或不溶的物质溶解,并且重结晶而进行无机合成与材料处理的一种有效方法。 ;水热生长体系中的晶粒形成有哪三种机制?;(1)营养料在水热介质里溶解,以离子、分子团的形式进入溶液(溶解阶段);
(2)由于体系中存在十分有效的热对流及溶解区和生长之间的浓度差,这些离子、分子或离子团被输运到生长区(输运阶段);
(3)离子、分子或离子团在生长界面上吸附、分解与脱附;
(4)吸附物质在界面上的运动;
(5)结晶。;粉体的晶粒粒度与粉体形成时的成核速度有关,成核速度越快,由此制得的粉体的晶粒粒度就越小,对于溶液体系,如果采取一定的措施,加快成核速度,即在相对较短的时间内形成相对较多的晶核,由于在成核过程中溶质被大量消耗,在生长过程所提供的溶质就会相对减少,则可以使产物的晶粒粒度减少。
;在高温高压的水热体系中,水的性质发生哪些变化及对水热反应的影响?
离子积升高,水的电离常数随反应温度压力的上升而增加,常温常压不溶于
水的矿物或有机物会溶解,水热条件下也能诱发离子反应或促进水解反应。
水的粘度和表面张力随温度升高而下降,这使得离子和分子的活动性大为增
加,在水热溶液中存在着十分有效的扩散,从而使得水热晶体生长较其他水
溶液晶体生长具有更快的生长速率。
水的热扩散系数增加,水的密度降低水热溶液比常温常压下具有更大的对流
驱动力,促进基元物质在界面运动,有利于成核结晶。
蒸汽压变高,可以增加分子间碰撞的机会而加速反应
;3-电解合成;什么是电动势和理论分解电压?
电动势:在一个电化学反应器中,当无电流通过时,两电极之间自发产
生的电位差。
对电解池来说,则为电解反应所需的最低电压值,也就是理论分解电压。
;什么是电解定律(法拉第定律)
电解时,电极上发生变化的质量与通过的电量成正比,且每通过1F电量
可析出1mol任何物质。;在电极与溶液之间形成的界面上进行的电极反应分为哪几个步骤?
反应物粒子自溶液本体向电极表面传递
反应物粒子在电极表面或电极表面附近液层中进行某种转化
在电极与溶液之间的界面上进行得失电子的电极反应
电极反应产物在电极表面或电极表面附近液层中进行某种转化
电极反应产物自电极表面向溶液本体传递。
;什么是阳极效应?端电压急剧升高,电流则强烈下降,同时,电解质与电极之间呈现润湿不良现象,电解质好像被一层气体膜隔开似的,电极周围还出现细微火花放电的光圈。;4-化学气相沉积;在一个基片上沉积多层薄膜时采用模块式CVD:
多个反应室,不同薄膜分别沉积,互不干扰;基片通过机械手在真空下传递,不引入外界污染。;什么是气缺现象?如何减缓这种现象?
在LPCVD系统中,因为表面反应速度控制沉积速率,而表面反应速度又正比于表面上的反应剂浓度,要想在各个硅片表面上沉积厚度相同的薄膜,就应该保证各个硅片表面上的反应剂浓度是相同的。
然而对于只有一个入气口的反应室来说,沿气流方向因反应剂不断消耗,靠近入气口处沉积的膜较厚,远离入气口处沉积的膜较薄 ,称这种现象为气缺现象。;(1)由于反应速度随着温度的升高而加快,可通过在水平方向上逐渐提高温度来加快反应速度,从而提高沉积速率,补偿气缺效应的影响,减小各处沉积厚度的差别。
(2)采用分布式的气体入口,就是反应剂气体通过一系列气体口注入到反应室中。需要特殊设计的沉积室来限制气流交叉效应。(3)增加反应室中的气流速度。当气流速度增加的时候,在单位时间内,靠近气体入口处的沉积速率不变,薄膜沉积所消耗的反应剂绝对数量也就没有改变,但所消耗的比例降低,更多的反应剂气体能够输运到下游,在各个硅片上所沉积的薄膜厚度也变得更均匀一些。;化学气相沉积按照哪五个主要步骤进行?
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