压力传感器的热零点漂移补偿与非线性修正.docVIP

河北工业大学 硕士学位论文 压力传感器的热零点漂移补偿与非线性修 姓名：赵彦晓 申请学位级别：硕士 专业：微电子学与固体电子学 指导教师：孙以材 2003.3.1 河北Ｔ＝业人学坝上学位论文 压力传感器的热零点漂移补偿与非线性修正 摘要 压阻型扩散硅压力传感器以其低价格得到广泛应用，基于单片机技术的智能压力传感器以其使用方便，测量精确而得以推广。 压力传感器的核心是扩散硅电阻桥，智能压力传感器应用单片机技术采集数据、处理并输出显示结果。扩散硅的压阻系数是温度的函数，所以存在灵敏度温漂，而影响温度的因素是多方面的：测量环境的变化，测量电路产生的热量的影响等等，所以要想得到比较精确的压力值，必须对压力传感器进行校正。 压力传感器的零点存在热漂移、电漂移和时间漂移，减小压力传感器的热零点漂移的措施是各力敏电阻的电阻值及其温度系数的相等性。本论文应用曲线拟合方法校正零点，降低成本且精确度提高。 压力传感器的压力灵敏度与压阻系数成比例关系，而压阻系数是温度的函数，所以非线性补偿的实质是消除温度对灵敏度的影响。可应用的方法很多：二极管补偿法，恒流源补偿法，热敏电阻补偿法等。本论文应用曲线拟合技术，融入温度信息，得出带有温度信息的压力解析表达式，此方法简化硬件电路且可实现自校正自补偿功能。 本论文根据压力传感器零点补偿与非线性补偿原理，设计出了测量压力传感器的硬件电路及软件编程，应用单片机技术测量电路简单，成本低，应用面广，但是由于半导体本身的特点其测量结果仍存在一定的误差。关键词：零点补偿，灵敏度温漂，曲线拟合，信息融合，单片机 ＾山｛专感；！｝｝的热零点漂移补偿’０１ｒ线性修正 ＴｈｅＴｈｅｒｍａｌＤｒｉｆｔＣｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎＡｎｄＮｏｎｌｉｎｅａｒｉｔｙＲｅｖｉｓｅｏｆｔｈｅ ＰｒｅｓｓｕｒｅＳｅｎｓｏｒ Ａｂｓｔｒａｃｔ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｏｎ ｓｅｎｓｏｒｓａｒｅ ｗｉｄｅｌｙｕｓｅｄｂｅｃａｕｓｅｏｆａｌｏｗｐｒｉｃｅ．Ｔｈｅｉｎｔｅｌｌｉｇｅｎｔｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒ，ｂａｓｅｄ ａｃｃｕｒａｔｅ ｍｉｃｒｏｐｒｏｃｅｓｓｏｒｔｅｃｈｎｉｑｕｅ，ａｒｅｐｏｐｕｌａｒｉｚｅｄｂｅｃａｕｓｅｏｆｃｏｎｖｅｎｉｅｎｃｅａｎｄＳｉｌｉｃｏｎｒｅｓｉｓｔａｎｃｅｉｓｔｈｅ ｃｏｒｅ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ａｃｑｕｉｒｅｓ， ａ ｏｆｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒ，Ａｎｉｎｔｅｌｌｉｇｅｎｔｐｒｅｓｓｕｒｅ ｓｅｎｓｏｒ ｐｒｏｃｅｓｓｅｓｄａｔａｂｙｆｕｎｃｔｉｏｎａｆｆｅｃｔｉｎｇ ｕｓｉｎｇｍｉｃｒｏｐｒｏｃｅｓｓｏｒｔｅｃｈｎｉｑｕｅＴｈｅｐｉｅｚｏｒｅｓｉｔｉｖｅ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔｏｆｓｉｌｉｃｏｎｉｓ ｏｆｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｏｎ ａｎｄ ＳＯ ｔｈｅｏｆｆｓｅｔｄｒｉｆｔａｎｄｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ ｔｈｅｒｍａｌｄｒｉｆｔｏｃｃｕｒ．Ｔｈｅｆａｃｔｏｒｓ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ａｒｅｖａｒｉｏｕｓ：ｔｈｅｃｈａｎｇｅｏｆｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔ，ｔｈｅｈｅａｔｏｆｔｈｅ ＳＯ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｃｉｒｃｕｉｔ Ｔｈｅ ｓｅｎｓｏｒ ａｎｄ ｏｎ．Ｉｆｗｅ ｗａｎｔ ｔｏ ｇｅｔａｃｃｕｒａｔｅｐｒｅｓｓｕｒｅｖａｌｕｅｓ，ｔｈｅｙｍｕｓｔｂｅｒｅｖｉｓｅｄ． ｏｆｆｓｅｔｉｓｇｏｖｅｒｎｅｄｂｙｉｔｓｔｈｅｒｍａｌｄｒｉｆｔ，ｅｌｅｃｔｒｉｃｄｒｉｆｔ ｓｅｎｓｏｒｓ ａｎｄ ｔｉｍｅｄｒｉｆｔ，ＳＯｅｌｉｍｉｎａｔｉｎｇ ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ ｔｈｅｏｆｆｓｅｔｔｈｅｒｍａｌｄｒｉｆｔｉｎｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆ ｒｅｑｕｉｒｅｓ ｔｏＳＯ ｔｏ ｋｅｅｐｔｈｅｖａｌｕｅｓｏｆ ａｎｄ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔｆｏｒｄｉｆｆｅｒｅｎｔｒｅｓｉｓｔｏｒｓｔｒｉｐｓ ｃａｒｔ ｂｅｅｑｕａｌｅａｃｈｏｔｈｅｒ．Ｔｈｉｓｐａｐｅｒｗｉｌｌ ｄｉｓｃｕｓｓｈｏｗｗｅａｃｃｕｒａｃｙｗｉｌｌｂｅ ｒｅｖｉｓｅｔｈｅｏｆｆｓｃｔｂｙ ｃｕｉｖｅ ｍａｔｃｈｉｎｇ ｔｈａｔｔｈｅ ｓｅｎｓｏｒ ｐｒｉｃｅｗｉｌｌｆａｌｌａｎｄ ｉｔｓ ｉｍｐｒｏｖｅｄ． ｔｏ Ｔｈｅｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙｉｓｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌｆｕｎｃｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅｐｉｅｚｏｒｅｓｉｔｉｖｅｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔａｎｄｔｈｅｌａｔｅｒｉｓ ａ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｓ，ＳＯａｆｔｅｒｅｌｉｍｉｎａｔｉｎｇｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ ｍｅｔｈｏｄｓ，ｄｉｏｄｅ ｔｈｅｒｍａｌｄｒｉｆｔ，ｔｈｅｎｏｎｌｉｎｅａｒｉｔｙＣａｎｂｅ ｃｕｒｙｅｎｔ ｓｕｂｓｔａｎｔｉａｌｌｙｃｏｍｐｅｎｓａｔｅ．Ｔｈｅｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ，ｃｏｎｓｔａｎｔ ｏｎ ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏ