完整版MEMS产业发展现状及应用前景.pptVIP

MEMS 发展现状 及其应用前景 一、 MEMS 定义概述 ? MEMS 是英文 Micro Electro-Mechanical Systems 的缩 写，即微电子机械系统，指以集成电路等工艺批量制造 的，具有毫米级尺寸和微米级分辨力的微细集成设备或 系统。 从微小化和集成化的角度， MEMS 指可批量制作的、 集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和 控制电路，直至接口、通讯和电源等集于一体的微型器 件或系统。 与传统机械系统相比， MEMS 系统具备以下优势： ①微型化和集成化 ： 几何尺寸小，易于集成。采用微加工技术可 制造出微米尺寸的传感和敏感元件，并形成二维或三维的传感器阵列， 再加上一体化集成的大规模集成电路，最终器件尺寸一般为毫米级。 MEMS 镜头 内嵌隐形眼镜的 MEMS 传感器 ②低能耗和低成本 ： 采用一体化技术，能耗大大降低；并由于采用硅微加工技术和半导体集 成电路工艺，易于实现规模化生产，成本低。 ③高精度和长寿命 ： 由于采用集成化形式，传感器性能均匀，各元件间配置协调，匹配良好， 不需校正调整，提高了可靠性。 ④动态性好 ： 微型化、质量小、响应速度快、固有频率高，具有优异动态特性。 MEMS 加速度计、陀螺仪和地磁感应计 二、 MEMS 的历史和发展现状 2.1 MEMS 的发展历史 MEMS 1947 1954 1958 1962