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表面反射 式测量仪 万能测长 仪原理与 结构 光电显微 镜测量测 量方法 电子图像 测量的测 量方法 光电显微镜测量测量方法 ? 在几何量的测量中 , 往往需要进行非接触式 定位和瞄准 , 光学显微镜由于受人眼鉴别率 的限制 , 其瞄准精度比较低 ( 最高可达 0. 2 ～ 0. 3μm )而且很难实现自动化 , 采用光电 显微镜 , 不仅提高了瞄准精度 , 而且为检测 自动化提供了可靠的基础。 ? 光电显微镜分静态光电显微镜和动态光电 显微镜。 就其原理来说分为光度式光电显 微镜 ( 单光电管光度式、双光电管差动光度 式 ) 和相位式光电显微镜 ( 相位示波式和相 位脉冲式 ) 。这里介绍的是相位式静态光电 显微镜在孔径测量方面的应用。 静态光电显微镜的工作原理 由光源发出的光线经聚 光镜照亮目标分划板 S, 分划板上的图案经由投 影物镜在测量面上形成 一缩小实像—— 光学像 点 , 该像点恰好位于显 微镜的物平面上。 此像点经显微物镜成像 , 该像被分光镜分为两路 , 一路成像于目镜分划板 上 , 用于目镜观测 , 另一 路成像于光电接收器的 狭缝上 , 用于光电瞄准。 狭缝的宽度与像点的像 的宽度大致相等 。 光学灵敏杠杆 D=(n2 - n1) + d D – 待测孔径 d – 光学灵敏杠杆测头直径 n1 、 n2 – 工具显微镜上的两次读数 光电显微镜运用于孔径测量