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PVD法硬质薄膜中的残余应力.pdfVIP

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  • 2020-05-23 发布于河北
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PVD法硬质薄膜中的残余应力.pdf

    维普资讯 第3卷 第 1期 薄 膜 科 学 与 技 术 Vo1．3 No．1 l990年 2 丹 THIN FILM SCIENCE AND TECHN0L0GY Feb． 1990 PVD法硬质薄膜中的残余应力 ● 信 觉 俗 (东北工学院 ) 1989 6月 17曰收到 摘 要 本文综述 了物理气相 兄积 (PVD)硬盾薄膜 中存在残余压缩应 力的原因。介船 了残余压缩应力的性质和对薄膜性能的影响。指 出了控制残余压缩应力的途径 。 圭置词t残余应力，物理 气相沉积 一

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