半导体集成电路课件第四章.pptVIP

双极型逻辑IC版图设计举例 隔离扩散版 基区扩散版 发射区扩散版 接触孔版 金属化版 R1 R2 R3 R4 T1B T2B T3B T4B D1阳极 陪管B R0 套刻用图形 D1阴极 陪管C 陪管E T1C T1E1 T1E2 T2E T2C T3C T3E T4C T4E 套刻用图形 * 二.输出部分采用Q3、Q5管的推拉输出作用 使电路的功耗 PD下降 图A示出标准TTL电路(图4.1)的版图(没画出箝位二极管)。图中引出脚1、2为输入端，3为输出端，4为接地端，5为电源，6和7为或扩展器引出端。 6 7 T4 图A 图4.1 1 2 3 4 5 T3 T1 T2 R4 R1 R2 R3 Vi Vi D D1 图B是图A各层掩膜版的示意图， 图中设有画出埋层扩散版，集电极接触磷穿透扩散版和压焊点钝化版。各次版图的对准是十分重要的。为此在每一张版图上，除第一张和最后一张外，都应有两个用来对准用的检测图形。小一些的对准图形用来对准上一张版图，大一些的对准图形用来对准下一张图。在第一张版图上，仅有小一些的对准图形。在版图的边缘处还设计了供检测元件电参数用的晶体管图形和薄层电阻的图形。 隔离扩散版 基区扩散版 发射区扩散版 接触孔版 金属化版 图B 图A R1 R2 R3 R4 T1 T2 T3 T4 D1 1 2 3 4 5 6 7 陪管 R0 *