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透透射射电电子子显显微微镜镜
主要内容
• 透射电镜组概况
• 透射电镜主要结构
• 透射电镜基本原理
• 透射电镜的功能及发展
• 样品制备及要求
• 应用举例
2
电镜组概况
设备情况：1、FEI Tecnai G2 F20 S-TWIN高分辨透射电子显
微 微镜 （2007年安装）
2、日立H-800分析型透射电子显微镜（1985年安装）
3、RES101离子减薄仪
4、上交大产电解双喷减薄仪
3
FEI Tecnai G2 F20 HITACHI H-800
4
透射电镜主要结构
电镜的基本组成包括电子枪（光源）与加速级管、
聚光系统、成像系统、放大系统和记录系统。光
路上主要由各种磁透镜和光阑组成.
1．照明系统
2．成像放大系统
1）物镜
2）光阑
3）中间镜、投影镜
M ＝M ×M ×M
总 物 中 投
3．照相记录系统
5
TEM组成示意图
1.电子枪；2.阳极；3.束
偏转系统；4.第一聚光镜；
5.第二聚光镜系统；6.束
偏转系统；7.试样室；8.
试样倾转台；9.物镜；10.
选区光阑；11.中间镜；
12.第一投影镜；13.第一
衍射试样室；14.第二投影
镜；15.第二衍射试样室；
16.辅助观察屏；17.观察
室；18.荧光屏；19.照相
系统
6
1 照明部分
（1）阴极：又称灯丝，一般是由0.03~0.1毫米的钨丝作成V或Y形
状。
（2）阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接
地，阴极带有负高压。
（3）控制极：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的亮度。
阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能，因此，人们习
惯上把它们通称为“电子枪”。
（4）聚光镜：由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电子束
穿过阳极小孔后，又逐渐变粗，射到试样上仍然过大。聚光镜就是为
克服这种缺陷加入的，它有增强电子束密度和再一次将发散的电子会
聚起来的作用。
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