离子束和等离子体加工.doc

离子束和等离子体加工 离子束和等离子体加工 离子束和等离子体加工 离子束与等离子体加工的原理与特点及这两种加工技术在高精度表面抛光中应用。 1、离子束加工的基本原理 所谓离子束抛光, 就就是把惰性气体氩、氮等放在真空瓶中, 用高频电磁振荡或放电等方法对阴极电流加热, 使之电离成为正离子, 再用5千至10万伏高电压对这些正离子加速, 使它们具有一定的能量。利用电子透镜聚焦,将它们聚焦成一细束,形成高能量密度离子流,在计算机的控制下轰击放在真空室经过精磨的工件表面, 从其表面把工件物质一个原子一个原子地溅射掉。用这种方法对工件表面进行深度从100 埃到10微米左右的精密加工。 2、等离子体加工的基本原理 等离子体加工又称为等离子弧加工,就是利用电弧放电使气体电离成过热的等离子气体流束,靠局部熔化及气体去除材料的。等离子体又被成为物质的第四种状态。 等离子体就是高温电离的气体,它由气体原子或分子在高温下获得能量电离之后,理解成带正电荷的离子与带负电荷的自由电子,整体的正负离子数目与正负电荷仍相等,因此称为等离子体,具有极高的能量密度。 3、 离子束加工主要的特点 (1)属于原子级逐层去除加工,加工精度高 (2)加工生产污染小 (3)加工应力、变形小 (4)加工范围广(利用机械碰撞能量加工) (5)易实现自动化 (6)设备复杂、价格贵 4、 等离子体加工主要的特点