教育訓練-真空元件复习课程.pptVIP

Date;真空材料與元件;一、概論;二、機械強度;三、氣體的滲透力;而氣體滲透過器壁的量，可大至猶如多孔的陶瓷體或鑄件體，甚或至在非多孔性的器壁表面反射。對於多孔性（POROUS）材質表面粗糙度明顯，具鬆散層的材料避免選用，至於非多孔性的材料，他們對於氣體的容許滲透力也必需列入氣體的負載評估之列。 ;四、蒸氣壓（VAPOUR PRESSURE）;不銹鋼（STAINLESS STEELS）高鎳合金（HIGH NICKEL ALLOYS）暨無氧銅（OXYGEN-FREE HIGH CONDUOTIVITY OOPPER OFHC）將是唯一可選用之材料。來自金屬表面之氣體應該是極微少量的，在此前提之下，建議能將材料表面之氣體除去，自然的逸氣率（OUTGASSING RATE）應該藉由清潔（OLEENING）與烘烤，（BAKING）來降低。;五、工作環境（WORKING CONDITIONS）;六、真空用部品;真空部品之基礎為真空密封，真空密封又有軸密封暨固定密封，固定密封─如電流導入端子為永久式之密封方式。法蘭（FLANGE）暨閥體，為具有半固定式之密封，軸密封依運動方式又區分為直線方式、回轉方式、傾斜方式三種運動導入之機構。;七、法蘭暨襯墊（GASKET）;(1)泵浦均採（ＶＧ型）之法蘭(2)閥均採（ＶＦ型）之法蘭(3)配管之場合則依管內之氣流方向而定;一對接合之法蘭，連結的下個法蘭原則上是ＶＧ型作對應。　　真空裝置上的法蘭所使用的襯墊，一般使用橡膠類較為合適。另外SILICON材質的襯墊會產生氣體滲透性之問題，在高度真空之場合必須注意。;八、閥;其中閥軸心之氣密方式又區分如下：(1)O-RING SEAL(2)WILISON SEAL(3)BELLOW SEAL;流量調節閥（Regulator VALVE） 　在一般真空裝置上所使用的閥體，為大流量的調節功能，如需採用微量調節時，就必需採用流量調節閥。　　例如：針閥（NEEDLE VALVE）以其針軸開啟的程度來調節流量之大小。;九、阻擋（BAFFLE）與陷井（TRAP ）;陷井(TRAP)其主要功用為降低作動液（如油）之蒸氣回流至真空腔中，破壞或污染真空品質，通常將液態氮導入陷井之中，利用其低溫之“凝縮”能力捕捉作動液之蒸氣。;十、運動導入機構;【附註】利用BELLOW SEAL之密合方式，可涵蓋上述之運動密合應用。　　在高???迴轉下，迴轉導入必需承受嚴重問題：機械磨擦。然而磁性流體可解決此類問題。　　磁性流體的密封機構，是藉由磁流體外部之磁石與轉軸型成一密封之磁力線，轉軸間之空隙就藉由磁性流體來密封。　　;磁性流體導入其軸由於不與固體物質接觸，因此不會造成摩擦摩耗、潔淨、壽命長。;十一、電氣導入;十二、真空視窗;【補充資料】;參．真空零件之表面處理(1)研磨拋光～(2)噴砂～ ;《參考書目》