第6章 固态传感器教学教案.pptVIP

湿敏传感器 主要特性 灵敏度 指被测湿度作单位值变化时所引起的输出量（感湿特征量）的变化程度。灵敏度是特性曲线的斜率。 湿度量程 保证一个湿敏器件能够正常工作所允许的相对湿度的最大范围。 湿度温度系数 当环境湿度恒定时，温度每变化1℃，引起湿度传感器感湿特征量的变化量。 特性曲线 指湿敏传感器的输出量（或称感湿特征量）与被测湿度（例如相对湿度）间的关系曲线。 6.2.1 湿敏传感器基础 6.2.1 湿敏传感器基础 6.2.1 湿敏传感器基础 对湿敏传感器的要求 灵敏度高，感湿特性线性度好 使用寿命长，长期稳定性好 使用范围宽，湿度温度系数小 响应快，响应时间短 湿滞回差小 互换性好，易于批生产，成本低廉 6.2.2 氯化锂湿敏传感器 氯化锂（LiCl）是典型的离子晶体。高浓度的氯化锂溶液中，锂和氯仍以正、负离子的形式存在,而Li+对水分子的吸引力强，其溶液中的离子导电能力与浓度成正比。当溶液置于一定湿度的环境中时，若环境的相对湿度高，溶液将因吸收水份而浓度降低，电阻率增高；反之其电阻率下降。因此，氯化锂湿敏电阻的阻值将随环境湿度的改变而变化，从而实现了对湿度的电测量。 组合式氯化锂的阻—湿特性 0 30 60 90 0.01 0.1 1 10 相对湿度/% R/108Ω 氯化锂湿敏元件湿滞回差较小，受测试环境风速的影响小，检测精度高达±5%，但其耐热性差，不能用于露点以下测量，器件性能重复性不理想，使用寿命短。 抗沾污能力强 热稳定性好 响应快 可加热清洗 使用温度范围宽 可工作在恶劣环境下 优点 优点 6.2.3 半导体及陶瓷湿敏传感器 该湿度传感器的感湿体是MgCr2O4-TiO2系多孔陶瓷。MgCr2O4属于P型半导体，其特点是感湿灵敏度适中，电阻率低，阻值温度特性好。为改善烧结特性和提高元件的机械强度及抗热骤变特性，在原料中加入一定的TiO2。这样在1300℃的空气中可烧结成相当理想的瓷体。 烧结体型 1 6.2.3 半导体及陶瓷湿敏传感器 此类湿度敏感元件是把感湿粉料（金属氧化物）调浆，涂覆在制好的梳状电极或平行电极的滑石瓷、氧化铝或玻璃等基板上，经低温烘干后制成。四氧化三铁、五氧化二钒及三氧化二铝等湿敏元件均属此类，涂覆膜型湿敏器件有多种品种，其中比较典型且性能较好的是Fe3O4湿敏器件。 涂覆膜型 2 6.2.3 半导体及陶瓷湿敏传感器 利用三氧化二铝做电介质构成电容器，由于多孔的三氧化二铝薄膜易于吸收空气中的水蒸汽，从而改变了其本身的介电常数，这样电容器的电容值就会随着空气中水蒸汽分压而变化，从而可以测量出空气的相对湿度。 目前以铝为基础的湿敏元件在有腐蚀剂和氧化剂的环境中使用时，都不能保证长期稳定性，但以钽作为基片，利用阳极氧化法形成氧化钽多孔薄膜是一种介电常数高、电特性和化学特性较稳定的薄膜，以此薄膜制成电容式湿敏元件可以大大提高元件的长期稳定性。 薄膜型 3 6.2.3 半导体及陶瓷湿敏传感器 6.2.4 高分子聚合物湿敏传感器 有机纤维素具有吸湿溶胀、脱湿收缩的特性，利用这种特性，将导电的微粒或离子掺入其中作为导电材料，就可将其体积随湿度的变化转换为感湿材料电阻的变化，从而完成对环境湿度的测量。这一类的胀缩性有机物湿敏元件主要有：碳湿敏元件及结露敏感元件等。 采用丙烯酸塑料作为基片，在基片两长边的边缘上形成金属电极。在其上浸涂一层由羟乙基纤维素、导电碳黑和润湿性分散剂组成的浸涂液，待溶剂蒸发后即可获得一层具有胀缩特性的感湿膜。最后经老化、标定后即可进行湿度测量使用。 利用醋酸纤维作为感湿材料，形成电容式湿敏元件。其响应速度快，重复性能好，最适宜的工作温度范围为0～80℃。 6.2.4 高分子聚合物湿敏传感器 高分子聚合物薄膜湿敏元件是一类比较理想的湿敏元件。作为感湿材料的高分子聚合物能随周围环境的相对湿度大小成比例地吸附和释放水分子。目前这类高分子聚合物材料主要有等离子聚合法形成的聚苯乙烯及醋酸纤维素等。 用等离子聚合法聚合的聚苯乙烯因有亲水的极性基团，随环境湿度大小而吸湿或脱湿，从而引起介电常数的改变。 6.1 磁敏传感器 6.2 湿敏传感器 6.3 其他固态传感器 第6章 固态传感器 6.3.1 气敏传感器 6.3.2 半导体色敏传感器 6.3.3 离子敏感器件（ISFET） 6.3 其他固态传感器 第6章 固态传感器 固态传感器利用某些固体材料的机械、电、磁等的物性型变化来实现信息的直接测量。制造固态传感器的固体材料以半导体材料用得最多。 本章主要对利用半导体技术制造的磁敏、湿敏等几类固态传感器的原理及相关特性进行介绍。 第6章 固态传