离子注入工程培训.pptx

离子注入工程培训教材ion implantation;什么是离子注入？;离子注入的优点;离子注入的局限性;离子注入系统;接上面的内容;离子注入机（NH-20S）结构图;离子注入系统的组成;第一部分离子源（ion source）;其特殊的性质，刻蚀作用，帮助我们清洗设备，稳定束流。离子源（Ion Source) 灯丝(filament)发出的自由电子在电磁场作用下，获得足够的能量后撞击分子或原子，使它们电离成离子，再经吸极吸出，由初聚焦系统聚成离子束，射向磁分析器。阳离子生成处是在等离子环境中，使气体分子离子化。 离子源的电场由ARC电压和ARC电流提供。;两种离子源对比;我们常用的就是弗利曼（freeman）式离子源，还由一种为伯纳（bernas）式离子源。影响离子产生的因素有：灯丝的好坏，离子源安装的位置，通入气体的量的多少等，因此每次更换离子源时要认真操作，把位置放好，注意吸极石墨板的位置，以免短路，造成没有必要要的损失。（这里指大束流注入机）;第二部分源磁;第三部分磁分析器;第四部分加速管(Acceleration tube);第五部分聚焦和扫描系统 (deflection and scanning );偏折板;第六部分靶室和后台处理系统(Target Assembly);以上就是注入机的基本结构，不同注入机结构有很多不同之处，希望大家在今后的工作中能逐渐的掌握，有不懂的地方，有后还要进行相关的培训。 离子源更换和冷泵再生的操作方法，进行现场培训，相关的作业指导书已制定好，大家好好看看，把其学会，我要考试的。;II工程日常设备点检和相应故障的处理;NH-20S真空控制图;注入工程的工艺质量判断;NH-20S的指差呼称：离子种类，能量，剂量，真空度，SCAN波形 大束流注入机的指差呼称：离子种类，能量，剂量，注入ES,注入ES真空SCAN（balance和scanmax） 我们要知道与我们相联系的其他工程，有光刻（PHO）刻蚀（ET）扩散（DIF），加工好的制品要知道送给那个工程，千万不能送错。在接受前道工序送来的制品，我们要仔细检查，严把质量关，我在这里给大家提供一些质量图片，希望大家能认真识别图形，以弥补我们注入工程以来缺乏对图形的认识。;P＋图形;P+环上图形;光刻胶是一种半通明的物质，当它涂在硅片上时，有胶的地方颜色会变得暗一点，无胶的地方颜色亮一点。 在无光刻胶的地方是SIO2，大约是500A,大家可以看到，在显微镜下，500A的SIO2的颜色是淡黄色，要记住！ 另外我们在检查制品时，如果有划伤，首先要看划伤的部位是那里，假如是胶上时，判断划伤的严重，轻微时无影响，严重时要与技术员联系，假如是胶以外地方，根据严重与否，在判定。注入要求划伤在1.5cm左右，判定为异常，填联络单。;联络单的使用方法;POLY 图形(ET后);在POLY-ET后的制品，也即就是在我们进行P－注入，制品表面已经没有光刻胶了，其黄色区域是polysilicon（多晶硅），而表面有点暗灰色区域是SIO2，大约为700A，这就与P＋不同了，也有助于我们来区别所加工的制品是不是要注入的工序，不至于搞错。;POLY后与环上对比;N+图形（ET后）;N+ET后的环上图形;注入的皱胶现象;注入后的皱胶现象;通过对图形的认识，大家要掌握住关键的地方，严格控制注入工程的质量关。如果在工作的时候，有什么不懂的地方，要多问，使自己没有那些含糊的概念。;5S活动;;5S管理就是整理（SEIRI）、整顿（SEITON）、清扫（SEISO）、清洁（SETKETSU）、素养（SHITSUKE）五个项目，因日语的罗马拼音均以"S"开头而简称5S管理。5S管理起源于日本，通过规范现场、现物，营造一目了然的工作环境，培养员工良好的工作习惯，其最终目的是提升人的品质，养成良好的工作习惯：1、革除马虎之心，凡事认真（认认真真地对待工作中的每一件"小事" ） 2、遵守规定 3、自觉维护工作环境整洁明了 4、文明礼貌 ;注入工程的5S活动;☆? 清扫 ※ 在规定的时间内，对“我的设备”“我的环境”进行清扫，维护洁净度。 〖通过清扫，排除尘埃及废弃物〗 ? ☆? 清洁 ※ 保持设备环境的洁净度，让设备状况成为“看得见的管理”，加工具有高品质的产品。 〖强化设备管理，防止故障发生〗 ? ☆? 素养 ※ 保持良好的行为、语言习惯，遵守各类规章制度。 〖按照车间规章制度规定的作业方法工作〗 ?;通过辛勤的工作获得财富才是人生的大快事。 一个人一生可能爱上很多人，等你获得真正属于你的幸福后，你就会明白以前的伤痛其实是一种财富，它让你学会更好地去把握和珍惜你爱的人。五月-2020:5520:55:00 人只有为自己同时代人的完善，为他们的幸福而工作，他才能达到自身的完善。 每项事业成