怎样设计和验证 TRL 校准件以及 TRL 校准的具体过程_百度文库.doc

怎样设计和验证 TRL 校准件以及 TRL 校准的具体过程 刘迪 安捷伦公司网络分析仪产品事业部,北京市朝阳区望京北路 3号, 100102 电话:010邮件:di_liu@ 摘要:TRL 校准是一种非常精确的校准方式,尤其适用于网络分析仪的非同轴测 量。本文详细探讨了有关 TRL 校准的整个环节,从设计 TRL 标准件的要求,到设 计 TRL 校准件参数的确定, TRL 校准件设计后的验证,以及 TRL 校准时的具体过 程,最后到完成这次非同轴测量,方方面面都涵盖了,希望能为大家以后进一步研 究 TRL 校准提供相应的参考。 关键词:TRL 校准;非同轴测量;网络分析仪 How to design and verify TRL cal kit also implementation of TRL calibration Liu Di CTD, Agilent Technologies, Inc.No.3 WangJing Bei Lu,ChaoYang District, Beijing 100102 Tel:010Email:di_liu@ Abstract: TRL calibration is a very accurate calibration method for network analyzer measurement, especially for non-coaxial measurement. In this paper, we discuss the whole process regarding TRL cal, including the requirement of TRL standards, the specific parameters of TRL standards, verifying of the designed TRL cal kit, the implementation of TRL cal, and also the non-coaxial measurement. This paper can be a reference for people who want to know TRL cal and make more research on TRL cal. Keyword: TRL calibration; non-coaxial measurement; network analyzer 引言 我们大家都知道传统的 SOLT 校准,即短路 -开路 -负载 -直通校准, SOLT 校准 操作方便,测量准确度跟标准件的精度有很大关系,一般只适合于同轴环境测量。 而 TRL(Thru, Reflect, Line校准是准确度比 SOLT 校准更高的校准方式,尤其适合 于非同轴环境测量,例如 PCB 上表贴器件,波导,夹具,片上晶圆测量。 SOLT 校准通过测量 1个传输标准件和三个反射标准件来决定 12项误差模型,而 TRL 校 准是通过测量 2个传输标准件和一个反射标准件来决定 10项误差模型或者 8项误 差模型,取决于所用网络分析仪的接收机结构。 TRL校准极其准确,在大多数的场合中比 SOLT 校准准确多了。但是,很少 有直接的 TRL 校准件存在,一般要求用户根据所用夹具的材料及物理尺寸,工作 频率,来设计制造出相应的 TRL 校准件。用户使用网络分析仪测量元器件时,采 用不同的夹具,就要设计不同的 TRL 校准件,因此,对于用户来说,有一定的难 度和挑战性。但事实上,由于 TRL 校准的标准件不需要制作的像 SOLT 校准的标 准件那么精确, TRL 校准的精度只是跟 TRL 标准件的质量,重复性部分相关,而 不是完全由标准件决定,因此, TRL 校准的标准件跟 SOLT 相比更容易制作,它 们的特性也更容易描述。 1 TRL标准件的要求 1.1 TRL标准件的要求 通常来说, TRL 标准件的要求如下: (1直通标准件 电气长度为 0时,无损耗,无反射,传输系数为 1;电气长度不为 0时,直通 标准件的特性阻抗必须和延迟线标准件相同,无须知道损耗,如果用作设为参考测 量面,电气长度具体值必须知道,同时,如果此时群时延设为 0的话,参考测量面 位于直通标准件的中间。 (2反射标准件 反射系数的相位必须在正负 90度以内,反射系数最好接近 1,所有端口上的 反射系数必须相同,如果用作参考测量面的话,相位响应必须知道。 (3延迟线 /匹配负载 延迟线的特性阻抗作为测量时的参考阻抗,系统阻抗定义为和延迟线特性阻抗 一致。延迟线和直通之间的插入相位差值必须在 20度至 160度之间 (或 -20度至 -160度 ,如果相位差值接