薄膜太阳能电池的检测技术.doc

高扬，美国ISET公司，中国业务代表 2011/8/28 常州 1 ? 非晶硅薄膜太阳能电池 ? 微晶硅薄膜太阳能电池 ? 铜铟镓硒薄膜太阳能电池 ? 染料敏化太阳能电池 2 ? 原子结构 ? 电子自旋共振 ? 红外吸收光谱 ? 核磁共振 ? 光学特性 ? 吸收系数光谱 ? 反射-透射光谱 ? 光学带隙 ? 折射率 ? 电学特性 ? 暗电导率 ? 暗电导率激活能 ? 光电导率 ? 双极扩散长度 ? 稳态光生载流子栅线 ? 状态密度 ? 光电方法 ? 光热偏折光谱 ? 稳恒光生电流法 ? 双光束光电导率 ? 傅立叶变换光生电流光谱 ? 吸收系数确定缺陷密度 ? 空间电荷方法 ? 深能级瞬态谱 ? 器件质量材料的要求 ? 光致衰减效应 ? 电荷式深能级瞬态谱 3 ? 电子自旋共振（electron spin resonance，ESR）作为一种先进的实 验技术，能够反映半导体中缺陷的显微结构，并且适合于测量a- Si:H的缺陷密度。 ? ESR对a-Si:H的测量能够较好地识别中性悬挂键。因为ESR的结果 非常地清晰，这种实验方法被认为是确定a-Si:H缺陷的标准技术。 ? 但是，ESR的灵敏度仅限于低自旋密度的薄膜，并且只能给出顺 磁缺陷（paramagnetic defect）（带有未成对电子的缺陷）的信息。 为此，ESR会低估缺陷密度，因为带电荷的悬挂键没有未成对自