磁控溅射阴极结构与工艺gencoa.doc

关于溅射阴极与工艺的分析报告 (For Surfacility成都研修班) Gencoa 工艺工程师 黄汉乐 (Hugo Huang)hugo@ 2016-10-22 GENCOA Key Company Facts ? GENCOA is a private limited company (Ltd) ? 成立于 1995 by Dr Dermot Monaghan ? 公司位于英国利物浦 ?GENCOA是一个专业做阴极，离子源，以及speedflo的公司 ?GENCOA目前员工38人 ?（是目前全世界专业只做阴极配件最多人的公司） 6 design (Creo 3D CAD) 8 process development simulation 14 assembly test 4 sales tech support (2 Asia based) 其中Hugo是亚洲的工艺/产品工程师 3 administration accounts 3 hardware software (Speedflo) ? 全球销售阴极数量达3000多个 ? 全球销售speedflo达1000台，在反应溅射控制市场占比95%以上 GENCOA 2015年新建的工厂 GENCOA新工厂将 2016年3月20日落成。 总占地面积为2600平 方米 包括设计部办公室， 现代化组装厂以及 RD实验室 Gencoa offer the following range of products process technology for the thin film industry developed over the last 20 years Planar Magnetrons re- s Rotatab Magnetr Reactive Gas Control Pulsed Effusion Cells 磁控溅射的阴极类型 按形状分： ① 平面圆形阴极，主要是实验室研发设 备。 ② 平面矩形阴极，主要是生产设备（任 意长度）。 ③ 靶材旋转圆柱阴极，主要是大中型生 产设备（长度4米）。 ④ 磁棒旋转圆柱阴极，主要是管状镀膜 设备（长度4米）。 磁控溅射的阴极类型 按磁场设计分 平衡磁场 非平衡磁场 高利用率 HU 可调平衡度 全靶面刻蚀 内回路磁场 强磁场 射频磁场 高均匀性 ity For high vacuum sputtering process 弱磁场 Small cantilever mounted dual cathodes Example of cathode anode and target mounting Anode Assembly (Anode Wall Anode Assembly ) Target Clamp Assembly Diaphragm The unique anode design both reduces heat load on the substrate and prevents electrical shorts during operation by reduced coating build-up on the anode Anode is at “zero height” compared to target Low profile anode below target surface Having the anode at zero height means target thickness adjustment without a change to the anode. Optional anode cooling for web coating or hot chambers Integral gas injection through the anode wall – single or multizone Example of plasma pre-treating magnetron and small double cathode For OLED and touch screens Small sources for RD with the option of VTech fully adjustable magnetics Gencoa Retrofits - magnetic upgrades to existing magnetrons and various levels of source enhancement depending upon the needs new diaphragm system t