薄膜的生长过程和薄膜结构.docVIP

仅供学生学习参考，请勿扩散 薄膜材料与技术，授课教师：张卫华 2007 1/40 薄膜材料与技术 第五章 薄膜的生长过程和薄膜结构 仅供学生学习参考，请勿扩散 薄膜材料与技术，授课教师：张卫华 2007 2/40 本章主要内容 第五章 薄膜的生长过程和薄膜结构 一、薄膜自发、非自发形核理论 ? 概述、自发形核理论、非自发形核理论 二、连续薄膜的形成 ? 吞并过程、熔结过程、原子团迁移 三、薄膜生长过程与薄膜结构 ? 薄膜的生长形态、低温抑制型薄膜生长、高温热激活型薄 膜生长 四、非晶薄膜、织构、外延生长 五、薄膜中的应力和薄膜附着力 ? 薄膜应力测量、热应力和生长应力、薄膜界面形态和界面 附着力 仅供学生学习参考，请勿扩散 薄膜材料与技术，授课教师：张卫华 2007 3/40 5.1 薄膜生长过程概述 薄膜生长过程 5.1 新相形核阶段和薄膜生长阶段 在 晶体基板上薄膜沉积 。 (Ag NaCl ) 空白处形成细小原子团 原子团长大、合并 岛连接成膜 仅供学生学习参考，请勿扩散 薄膜材料与技术，授课教师：张卫华 2007 4/40 5.1 薄膜生长过程概述 薄膜生长模式 岛状生长： 层状生长： 层状－岛状生长： 开始时层状模式自由能 较低，随后岛状模式自 由能较低。 薄膜与衬底晶格常数不匹 配，随着沉积原子层增加 ，应变能增加－岛状松弛 。 外延生长时，表面不一定