氮气柜使用规程-杨雷-20180113教程文件.docVIP

氮气柜使用规程-杨雷精品文档 精品文档 收集于网络，如有侵权请联系管理员删除 收集于网络，如有侵权请联系管理员删除 精品文档 收集于网络，如有侵权请联系管理员删除 文件名称：氮气柜使用规程 编制： 日期： 审核： 日期： 批准： 日期： 一、目的 正确描述氮气柜的结构、使用注意事项，作为氮气柜的使用说明。 二、适用范围 制程全体人员 三、设备原理 氮气柜是采用充氮气的方式，通过置换和中和的方法使柜体内氧气含量下降，从而达到无氧化的目的，同时也能营造低湿环境。一般来说，效果良好的氮气柜，柜体内氮气浓度应该达到95%以上。 四、职责 4.1工程师负责该文件的编写、修订、培训； 4.2生产主管负责该文件的校对、组织培训； 4.3氮气柜使用者按规定操作。 五、内容 氮气流量计1 、外观和结构 氮气流量计 导静电轮设置说明温湿控制面板安全锁柜体层板 导静电轮 设置说明 温湿控制面板 安全锁 柜体层板 图1 氮气柜外观 组件 = 1 \* GB3 ①：氮气流量计，用于调节氮气量； 图2 氮气流量计 组件 = 2 \* GB3 ②：温湿控制面板，用于设置温湿度，并有数据输出口，可采集温湿度曲线； 图3 温湿度控制面板 组件 = 3 \* GB3 ③：导静电轮，可以导走柜体产生的静电； 组件 = 4 \* GB3 ④：温湿度管理模块，可视化管理氮气柜内部温湿度，位于柜体内部右上角； 图4 管理模块 组件 = 5 \* GB3 ⑤：氮气QDN，有急速降湿功能，有利于产品的保护； 图5 氮气QDN 2、 使用注意事项 2.1 氮气流量尽可能要大，从而能快速达到无氧氛围； 2.2 使用时尽量降低柜门的开关频率，减少开门时间，减少氮气损失，有利于产品安全和成本节约； 2.3 同时不能忽略氮气柜的ESD防护工作。 六、附件 无 七、文件修改记录 发起部门 制定/ 修订人 制定/修订 版本号 修订时间 修订（内容） 说明