GB/T 5238-2009锗单晶和锗单晶片.pdf

犐犆犛７７．１２０．９９ 犎 ６６ 中华人 民共和 国国家 标准 ／ — 犌犅犜５２３８ ２００９ 代替 ／ — 、 ／ — ＧＢＴ５２３８ １９９５ＧＢＴ１５７１３ １９９５ 锗单晶和锗单晶片 犕狅狀狅犮狉狊狋犪犾犾犻狀犲犲狉犿犪狀犻狌犿犪狀犱 狔 犵 犿狅狀狅犮狉狊狋犪犾犾犻狀犲犲狉犿犪狀犻狌犿狊犾犻犮犲狊 狔 犵 ２００９１０３０发布 ２０１００６０１实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 ／ — 犌犅犜５２３８ ２００９ 前 言 　　 本标准代替 ／ — 《锗单晶》和 ／ — 《锗单晶片》。 ＧＢＴ５２３８ １９９５ ＧＢＴ１５７１３ １９９５ 　　 本标准与 ／ — 、 ／ — 相比，主要有如下变动： ＧＢＴ５２３８ １９９５ＧＢＴ１５７１３ １９９５ ———扩大了锗单晶和锗单晶片的适用范围； ———删掉了锗单晶按电阻率允许偏差分成的三个等级和锗单晶片中的大圆片及小圆片； ———标准格式按 ／ — 《标准化工作导则》的要求进行了修改、补充和完善。 ＧＢＴ１．１ ２０００ 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。 本标准负责起草单位：南京锗厂有限责任公司。 本标准主要起草人：张莉萍、吴玉麟。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——— — ， ／ — ， ／ — 。 ＧＢ５２３８ １９８５ＧＢＴ５２３８ １９９５ＧＢＴ１５７１３ １９９５ Ⅰ ／ — 犌犅犜５２３８ ２００９ 锗单晶和锗单晶片 １ 范围 　 本标准规定了锗单晶和锗单晶片的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、订货单（或 合同）内容。 本标准适用于制作半导体器件、激光、外延衬底等用的锗单晶和锗单晶片。 ２ 规范性引用文件 　 下列文件中的