生产知识--工艺技术--前工序工艺流程（PPT 31页）.pptxVIP

前工序工艺流程前工序工艺流程玻璃清洗主固化IR UV Oven酸刻涂感光胶脱膜预固化图案检查NG后清洗曝光显影OK修复图案检查修复中工序玻璃清洗清洗剂+毛刷清洗DI水+US气刀喷干SiO2ITO水灰尘玻璃涂感光胶/预固化匀胶轮感光胶感光胶涂胶轮支持轮感光胶滴入匀胶轮与涂胶轮的夹缝，涂胶轮上的凹槽将感光胶转移到ITO表面。热板将玻璃加热90℃,使溶剂挥发。曝光/显影UVMask曝光区域未曝区域感光胶照射UV光以后发生化学反应显影过程中浓度极小KOH能将它溶解图案检查、修复/主固化短路检查发现有固定位置的短路，用针去除感光胶。主固化时使感光胶与ITO粘接更牢固。酸刻ResistResistITOSiO2Glass这个过程是除去不须要的ITO层，制成ITO图案。 使加热的FeCl3+HCl+H2O酸刻。脱膜/后清洗浓NaOH3%DI水+uS气刀喷干这个过程是用浓NaOH除去ITO上的感光胶，再用DI水清洗玻璃表面的任何杂质。为中工序TOP Coating准备。中工序 工艺流程中工序流程TOPCOATUS清洗PI印刷印刷边框环氧胶印刷导电胶预固化PI预固化UV固化预固化喷粉PI主固化主固化组合摩擦TOP Coat清洗热压固化TOP Coat印刷TOP CoatITOSiO2GLASSTOP Coat印刷是用柱皮（类似APR）在ITO图案的表面印刷一层绝缘材料。这层绝缘有两个基本功能：①减