GB/T 15862-2012离子注入机通用规范.pdf

ICS31-550 L97 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT15862 2012 代替 / — GBT15862 1995 离子注入机通用规范 Generalsecificationofionim lantationeuiment p p q p 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 2012-11-05发布 2013-02-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT15862 2012 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准代替 / — 《离子注入机通用技术条件》。 GBT15862 1995 本标准与 / — 相比主要变化如下: GBT15862 1995 ——— — 由 / — 代替; GBn193 1983 GBT13384 1992 ——— “ ”( )、“ ”( ), 增加术语 注入角度 见 3.6 最大晶片传输效率 见 3.7 并在性能指标及测试方法中做 ( ); 相应要求 见 6.4.6 ——— ; ( ); 环境温度调整为 相对湿度规定范围 见 23℃±2℃ 30%~50% 5.1.3 ——— “ ” ( ); 安全要求中增加 警示标识 的条款 见 6.3.1 ——— 、 ; 去掉表 3表 4 ——— ( )); 均匀性测量增加了热波探针法测量条件和方法 见 6.4.4.1b ——— ( ); 重复性测量增加了批间重复性测量方法 见 6.4.5.2 ———检验规则去掉例行检验项。 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页