GB/T 15861-2012离子束蚀刻机通用规范.pdf

ICS31-550 L97 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT15861 2012 代替 / — GBT15861 1995 离子束蚀刻机通用规范 Generalsecificationofionbeametchin sstem p gy 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 2012-11-05发布 2013-02-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT15861 2012 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准代替 / — 《离子束蚀刻机通用技术条件》。 GBT15861 1995 本标准与 / — 相比主要变化如下: GBT15861 1995 ——— — 由 / — 代替, — 由 / — 代替; GBn193 1983 GBT13384 1992 SJ2573 1985 SJT10674 1995 ——— [ )]; 环境温度调整为 见 20℃±10℃ 5.1a ——— , ( ); 束能量范围调整为0~2000eV 可调 见 5.4.1 2 2 2 2 ——— / / , / / ( ); 表 中束流密度 调整为 调整为 见表 1 0.5mA cm ≥0.3mA cm 1mA cm 0.8mA cm 1 2 ); / ( 增加束能量为 2000eV时束流密度≥1mA cm 见表 1 ———有效束径规格增加了