Q_FJDR.003-2019电子工业用气体 六氟化硫.pdf

Q/FJDR 003 · -2019 密级：秘密 版本号：4 QB 福建德尔科技有限公司企业标准 Q/FJDR ·003-2019 电子工业用气体 六氟化硫 2019-06-20发布 2019-07-01实施 福建德尔科技有限公司 发布 Q/FJDR 003 · -2019 前 言 本标准是本公司对国标GB/T18867-2014《电子工业用气体 六氟化硫》的贯彻落实，根据公 司生产工艺控制能力以及顾客要求，特编制的企业产品内控标准，用以规范和指导公司电子级六氟 化硫生产。 经过用户的实际调查、反馈，2017年7月18日对QJ/FJDR-01·01-2015标准进行第一次修 订，形成第2版。并将QJ/FJDR-01·01-2015分为Q/FJDR·003-2016《电子工业用气体 六氟化硫 内控标准》和Q/FJDR·004-2016《工业六氟化硫内控标准》。2017年8月30日对Q/FJDR·003-2016 进行第二次修订，形成第3版。2019年5月25日对Q/FJDR·003-2017进行第三次修订，形成第4 版。与Q/FJDR·003-2017相比，除编辑性变化以外，主要技术变化如下： ——内控标准版号改为4 ；内控标准文件编号中年度改为2019 ；标准名称改为“电子工业用 气体 六氟化硫”；表1中公司标准改为企业标准，删除以体积比计等信息；4.2中删除CHF；包装、 标志、贮运及安全信息修改； ——填写文件修订/变更记录表。 本标准有效期三年，到期复审。本标准有效期内，如发布国家标准或行业标准，本标准需重 新修订，并符合国家标准或行业标准。 本标准由福建德尔科技有限公司提出； 本标准归口单位：福建德尔科技有限公司质保部； 本标准主要起草人：李纪明、林百志、曾熙、赖金香、程岚、唐吉辉。 1 Q/FJDR 003 · -2019 电子工业用气体 六氟化硫 1 范围 本标准规定了电子级六氟化硫产品的技术指标、试验方法、检验规则、标志、标签使用说明 书以及包装、运输、贮存及安全。 本标准适用于公司内部对电子级六氟化硫产品质量的控制与检验，该产品主要用作电子工业 中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后 所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议 的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB 190 危险货物包装标志 GB 5099 钢质无缝气瓶 GB11640 铝合金无缝气瓶 GB 5100 钢质焊接气瓶 DOT3,3A,3AA,3AX,3AAX,3B,3E,3T 钢质无缝气瓶