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电子散斑干涉的最新发展和应用 摘要 电子散斑干涉是测量位移的全域非接触光学测量技术， 基于表面生成激光散 斑的光学物理。 自七十年代成立以来， 电子散散干涉已经逐渐演变成不同的光学 设计，并且已经被应用到一系列工程和非工程应用中。 电子散斑干涉的发展随着 九十年代新的激光和光学技术引进到干涉仪中， 继续进行， 从而进一步优化和扩 展该技术的开发潜力。这次审查认为干涉仪的设计和应用是最值得注意的发展， 它在九十年代已经出现并被广泛出版， 还检查到科技研究的现在和近未来的发展 方向。 关键词：散斑，干涉，电子散斑干涉，静态，动态，瞬态，全域 1 背景 电子散斑干涉 （又称全息电视， 电子全息和电光全息） 是一种非接触的全域 雷达基础测量表面位移的光学计量技术， 它采用了粗糙光学表面上激光散斑的形 成。几个不同的光学配置用于在条纹或干涉方面获取离散正常到表面（外平面） 和平行于平面（内部平面）的位移分量。 作为一项实验技术电子散斑干涉的发展在全息干涉（ 1）有根源，来自物体 表面的激光散斑在这里被视为测量系统的噪声源。格罗（ 2）一般被认为是最早 意识到激光散斑作为一个合理的基础在自己的权利计量技术方面的潜力， 指引出 散斑计量的广义领域。 这种广泛的措辞包括几种应用激光散斑并考虑到散斑物理 学优势的不同思想，这种想法通常是分类或划分散斑照相和散斑相关技术。 电子散斑干涉散斑相干技术的发