化学镀金工艺.docVIP

精选文库 PAGE PAGE 3 — 化学镀金工艺 化学镀金在电子电镀中占有重要地位，特别是半导体制造和印制线路板的制造中，很早就采用了化学 镀金工艺，但是早期的化学镀金由于不是真正意义上的催化还原镀层，只是置换性化学镀层，因此镀层的厚度是不能满足工艺要求的，以至于许多时候不得不采用电镀的方法来获得厚镀层。随着电子产品向小型化和微型化发展，许多产品已经不可能再用电镀的方法来进行加工制造，这时，开发可以自催化‘的化学镀金工艺就成为一个重要的技术课题。 ? (1)氰化物化学 镀金 ? 为了获得稳定的化学镀金液，目前常用的化学镀金采用的是氰化物络盐。一种可以有较高沉积速度的化学镀金工艺如下。 ? 甲液： ? 氰化金钾 5g／L EDTA 5g／L 氰化钾 8g／L 二氯化铅 0．5g／L 柠檬酸钠 50g／L 硫酸肼 2g／L ? 乙液： ? 硼氢化钠 200g／L 氢氧化钠 l20g／L ? 使用前将甲液和乙液以l0:1的比例混合，充分搅拌后加温到75℃，即可以工作。注意镀覆过程中也要不断搅拌。这一种化学镀金的速度可观，30min可以达到4μm。 ? 但是这一工艺中采用了铅作为去极化剂来提高镀速，这在现代电子制造中是不允许的，研究表明，钛离子也同样具有提高镀速的去极化作用，因此，对于有HORS要求的电子产品，化学镀金要用无铅工艺： 氰化金钾 4g／L 硼氢化钠 5．4～10．8mg／L 氰化钾 6．5g／L 温度 70～80℃ 氢氧化钾 ll．2g／L 沉积速度 2～10μm／h 硫酸钛 5～100mg／L ? 如果进一步提高镀液温度，还可以获得更高的沉积速度，但是这时镀液的稳定性也会急剧下降。为了能够在提高镀速的同时增加镀液的稳定性，需要在化学镀金液中加入一些稳定剂，在硼氢化物为还原剂的镀液中常用的稳定剂有EDTA、乙醇胺；还有一些含硫化物或羧基有机物的添加剂，也可以在提高温度的同时阻滞镀速的增长。 ? (2)无氰化学镀金 ? 在化学镀金工艺中，除了铅是电子产品中严格禁止使用的金属外，氰化物也是对环境有污染的剧毒化学物，因此，采用无氰化学镀金将是流行的趋势。 ? ①亚硫酸盐。亚硫酸盐镀金是三价金镀金工艺，还原剂有次亚磷酸钠、甲醛、肼、硼烷等。由于采用亚硫酸盐工艺时，次亚磷酸钠和甲醛都是自还原催化过程，是这种工艺的一个优点。 ? 亚硫酸金钠 3g／L 次亚磷酸钠 4g／L 亚硫酸钠 l5g／L pH值 9 1，2一氨基乙烷 lg／L 温度 96～98℃ 溴化钾 lg／L 沉积速度 0．5μm／h ? ②三氯化金镀液 ? A液： ? 氯化金钾(KAuCl4) 3g／L pH值(用氢氧化钾调) 14 ? B液： ? 甲醚代N-二甲基吗啉硼烷 7g／L pH值(用氢氧化钾调) 14 ? 将A液和B液以等体积混合后使用。 ? 温度 55℃ 沉积速度 4．5μm／h ? ③ ? 氯化金钾 2g／L MBT l．2mg／L 次亚磷酸钠 20g／L pH值 11．9 二甲基氨硼烷 2g／L 温度 50℃