第06章压电式传感器电子教案.pptVIP

1880年：法国人居里兄弟发现石英晶体的压电效应 ;;;下页;下页;下页;下页; 某些晶体（如SiO2单晶体结构）或多晶陶瓷（如钛酸钡，锆钛酸铅即PZT系列陶瓷） ①当沿着一定方向受到外力作用时，内部就产生极化现象，同时在某两个表面上产生符号相反的电荷，形成电场； ②当外力去掉后，又恢复到不带电状态； ③当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变； ④晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。; 反之，如对晶体施加一定电场，晶体本身将产生机械变形，外电场撤离，变形也随着消失。 这种现象称为逆压电效应，或称为电致伸缩。 ; ;; 压电材料 ;居里点1210?C，具有良好的压电性，适用于高温环境，但比石英脆，抗冲击性差。 ;2）、多晶压电陶瓷 ;3）、高分子有机压电材料 ;石英晶体是单晶结构，化学式SiO2。我们常把透明的石英称为水晶。;下页;下页;图所示是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于z轴的xy平面上的投影，等效为一个正六边形排列。 图中“”代表硅离子Si4+， “”代表氧离子O2-。 当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。 如图6-3（a）所示。 ;图6-3 石英晶体压电效应示意图; 因为P=ql, q为电荷量，l为正负电荷之间距离。此时正负电荷重心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即P1+P2+P3=0，所以晶体表面不产生电荷，即呈中性。 当石英晶体受到沿x轴方向的压力作用时，晶体沿x方向将产生压缩变形，正负离子的相对位置也随之变动。如图6-3（b）所示，此时正负电荷重心不再重合，电偶极矩在x方向上的分量由于P1的减小和P2、P3的增加而不等于零。在x轴的正方向出现负电荷，电偶极矩在y方向上的分量仍为零，不出现电荷。 ; 当晶体受到沿y轴方向的压力作用时，晶体的变形如图6-3c）所示。与图6-3（b）情况相似，P1增大，P2、P3减小。在x轴上出现电荷，它的极性为x轴正向为正电荷。在y轴方向上仍不出现电荷。 如果沿z轴方向施加作用力，因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同，所以正负电荷重心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这表明沿z轴方向施加作用力，晶体不会产生压电效应。 当作用力Fx、Fy的方向相反时，电荷的极性也随之改变。 ; 6.1.2 压电陶瓷的压电效应;图6-5a 压电陶瓷的极化过程和压电原理图; 极化处理后陶瓷材料内部存在有很强的剩余极化，当陶瓷材料受到外力作用时，电畴的界限发生移动，电畴发生偏转， 从而引起剩余极化强度的变化， 因而在垂直于极化方向的平面上将出现极化电荷的变化。这种因受力而产生的由机械效应转变为电效应，将机械能转变为电能的现象，就是压电陶瓷的正压电效应。电荷量的大小与外力成如下的正比关系： ; 压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多，所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关，它的参数也随时间变化， 从而使其压电特性减弱。 最早使用的压电陶瓷材料是钛酸钡（BaTiO3）。它是由碳酸钡和二氧化钛按1∶1摩尔分子比例混合后烧结而成的。它的压电系数约为石英的50倍， 但居里点温度只有115℃，使用温度不超过70℃，温度稳定性和机械强度都不如石英。 ; 目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅（PZT）系列， 它是钛酸铅（PbTiO2）和锆酸铅（PbZrO3）组成的（Pb（ZrTi）O3）。居里点在300℃以上，性能稳定，有较高的介电常数和压电系数（性能指标见表6-1）。 铌镁酸铅是20世纪60年代发展起来的压电陶瓷。它由铌镁酸铅 、锆酸铅（PbZrO3）和钛酸铅（PbTiO3）按不同比例配出不同性能的压电陶瓷。具有极高的压电系数和较高的工作温度， ???且能承受较高的压力。 ;压电陶瓷的优点是： 压电常数大，灵敏度高； 制造工艺成熟，可通过合理配方和掺杂等人工控制来达到所要求的性能； 成形工艺性也好，成本低廉，利于广泛应用。;缺点: 压电陶瓷除有压电效应外，还具有热释电性——晶体（电石、 水晶、酒石酸钾钠、钛酸钡等）受热产生温度变化时，其原子排列将发生变化，晶体自然极化， 在其两表面产生电荷的现象称为热释电效应;;6.1.3 压电式传感器 压电式传感器的基本原理就是利用压电材料的压电效应这个特性，即当有力作用在压电材料上时，传感器就有电荷（或电压）输出。