真空材料密封方式教学教案.pptVIP

第六章 真材料、密合、封入;Outline;真空用材料;真空材料選擇材料 ;δ表示平板中間可允許的變形量 LC=1.11D(D/h)1/2 為圓筒塴陷的臨界長度，超過易塴陷;材料逸氣之特性; 蒸發是造成物質蒸氣壓的主要原因，材料之蒸氣壓大小隨溫度升高而增大，並隨材料之不同而異。 ;(2)熱吸退 ;(3) 氣體擴散;(4)氣體滲透 ;(5) 電子與離子刺激退吸 ;常用之真空材料種類與特性;常用之真空材料種類與特性;(2) 氣體的滲透性 ;氣體分子溶入金屬之中然後進行擴散隨之穿透金屬。 氫氣是幾個少數氣體分子中最容易穿過金屬的??體。 若金屬部份有鏽蝕現象發生，則該處最容易發生氫氣滲透，因為水氣容易與鐵作用,形成較高的氫分壓。 氫在金屬中乃是以原子方式擴散，在穿透後再形成分子。;各種氣體對於有機高分子都具有極高的滲透率（縱使是惰性氣體也是如此）。 二氧化碳對於橡膠有很高的滲透率，相對於空氣則就小了許多。 倘若在一壓力差相差極大的環境裡，則高滲透率的氣體其穿越的機會遠大於低穿透率的氣體。 ;逸氣量(Outgassing);真空零件的處理;試片經過不同處理的條件下其溢氣量的比較;經過不同的表面處理後其溢氣量之比較;結構金屬;;玻璃與陶瓷; ;玻璃與陶瓷 ;Polymer;合成橡膠( Elastomers )：主要用於O-Ring 之真空封合，但卻有很高的吸水性與氣體滲透性，因