无尘室环境检测标准[文档推荐] .pdfVIP

1. 目的 规范无尘室内环境检测方法及判定作业。 2. 范围 适用于公司所有无尘室的环境检测作业。 3.职责 无尘室管事部 : 负责无尘室的定期检测及检测数据的统计分析 ,无尘室检测异常的提出。 生产部 : 负责对无尘室的日常维护及保养。 机电部 :负责无尘室高效及低效过滤网的更换及维修。 设备部：负责无尘室的定期保养 ,新过滤网的请购。 4. 内容 无尘室落尘检测： 静态检测 : 生产设备安装完毕 ,且正常运行但无人员工作状态下检测。 动态检测 : 生产设备安装完毕正常运行 ,且工作人员正常工作状态下检测。 检测周期 : 无尘室 2次/ 周。作业面区域 2次/ 周， FFU过滤网检测 1次/ 年度，生产依据检测排查结果，开出工 程需求申请单，请购滤网进行更换 。 注： CCM及三星专线无尘车间为每日点检。 无尘车间人数规定，按每 3m2最多只能容纳 1 人计算；比如： 100m2的车间，最多只能容纳 33 人, 每天进入无尘车间人员需做清点及统计，并记录于《无尘室人数点检表》中，超出空间限制人 员数量时应由无尘室管理禁止及进入。 (参考国标 GB 50073-2001) 。 检测方式 : 检测时使用采样量大于 1L/min 的光学粒子计数器。 测量时位于工作区的高度 (距离地面高度约处进行检测。 测量时间最少为 1min 。 检测异常处理： 灰尘度检测人员对检测结果进行判定，如检测结果超出标准， 无尘室管理 部开出《 无尘室检测异常 联络单 》，要求产线和相关部门进行改善，改善后再进行生产。 检测方法要求： 参考： ISO 14644-1/2 NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom 洁净室的测试点以不少于总面积开平方根的数量来均匀划分。 （例如：1000 平米车间至少需 32 个 检测点） 取样量为每分钟 1 个立方英尺 ,取样时间为一分钟。 在每个点的中心最小取一分钟，高度在米左右 . （靠近人员实际作业区域） 当有障碍物时采样点放在障碍物 12 英寸上面 检测等级判定： 本司检测设备检测量为 min( 即 min) 。 依据 FS-209E/GB50073-2001标准进行检测判定 ,即 1ft 的空间里面含有≥ 落尘的数量即为多少等级 , 也可依 1m3空间来计算 ,换算公式为 1 m3=1000L。 例: 现设备检测 1min, ≥的落尘显示数值为 87 。即为 : 在空间内有 87 个≥的落尘 =1ft 空间内有 870 个≥的落尘。依标准判定无尘室等级为 870 级。 FS-209E标准的空气中悬浮粒子洁净度等级 (ft m 3 比对表 ) 等级限制 5um 等级标准 容积单位 容积单位 容积单位 容积单位 容积单位 3 3 3 3 3 m3 Ft m3 Ft m3 Ft m3 Ft m3 Ft —— 10 —— 2 —— —— —— —— —— —— —— —— 100 —— 24 ——