冷弧空气等离子体射流表面处理技术介绍.pdf

冷弧空气等离子体射流表面处理技术介绍 一. 冷弧空气等离子体射流表面处理的必要性 传统的表面处理用湿法，采用化学溶剂浸泡擦洗。湿法不具有普适性，处理速 度慢，特别是化学溶剂会造成二次污染，使得人们必须寻找新的表面处理技术。 低温等离子体具有极强的化学活性，在室温下可以引起多种化学反应或物理刻 蚀，而基质材料的本体性能不受影响。通过低温等离子体表面处理，材料表面发生 多种的物理，化学变化，或产生刻蚀而粗糙，或形成致密的交联层，或引入含氧极 性基团，使材料表面清洁、活化，改善材料表面的亲水性、粘结性、可染色性、生 物相容性及电性能。它的这种特殊性能可以对塑料、橡胶、金属、半导体、陶瓷和 玻璃、复合物、纺织品、泡沫等进行表面改性，以及金属和非金属的粘接表面处理， 因此可以广泛应用于汽车、航空、家用电器、包装材料、医疗器械、电子、机械、 建筑、纺织和生物医学工程等领域。 在一般情况下，低温等离子体表面处理可以采用低气压等离子体技术，但由于 要使用真空系统，常常具有很大的局限性，也使得花费过大。常压等离子体技术使 表面处理变得简单而便宜。常压等离子体产生的方法有：一是电晕放电等离子体， 二是冷弧放电等离子体，三是射频放电等离子体（包括同轴型和平板多孔型），四 是介质阻挡放电等离子体。其中射频放电须用氦气工作，