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Q/B-P01—2019
Q/B
江苏秦烯新材料有限公司企业标准
Q/B-P01-2019
高 纯 红 磷
Highpurityredphosphorus
2019—12—01发布 2019—12—01实施
江苏秦烯新材料有限公司 发布
Q/B-P01—2019
前 言
本标准由江苏秦烯新材料有限公司提出;
本标准由江苏秦烯新材料有限公司解释;
本标准由江苏秦烯新材料有限公司批准;
本标准由秦烯新材料材料有限公司起草;
本标准主要起草人:吴展平 吴小春
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Q/B-P01—2019
高纯红磷
1 范围 本标准规定了高纯红磷的技术要求、试验方法、检验规则 以及包装、标: ,
志、运输。
5N 99.999%
本标准适用于半导体工业、集成电路制造用 ( )级以上的高纯红
磷产品。
化学式:P
分子量:123.90
2 技术要求:
半导体及集成电路用红磷应符合表 要求:1
表 要求1
项目 技术指标
红磷,% ≥ 99.9999
铝(Al) ppm ≤ 0.05
砷(As) ppm ≤ 0.01
银(Ag)ppm ≤ 0.01
铋(Bi) ppm ≤ 0.03
钴(Co) ppm ≤ 0.05
铬(Cr) ppm ≤ 0.05
铜(Cu) ppm ≤ 0.05
铁(Fe) ppm ≤ 0.05
镁(Mg)ppm ≤ 0.03
锰(Mn)ppm ≤ 0.03
镍(Ni) ppm ≤ 0.0
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