反射干涉光谱法测量固体薄膜的光学常数和厚度-.docVIP

第20卷,第3期光谱学与光谱分析V ol.20,No.3,pp 283-285 2000年6月S p ectrosco py and S p ectral a nal y sis June ,! !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!2000反射干涉光谱法测量固体薄膜的光学常数和厚度 杨 鹏 徐志凌 徐 雷 复旦大学物理系,三束材料改性国家重点实验室,200433 上海 摘要本文报道一种简单的方法,从平面介质薄膜的反射干涉光谱来计算薄膜的光学常数和厚度。当一 束光照射在基板上的介质膜上时,由于膜上下界面反射光的相干,会使反射光谱的曲线有一定的波动。我们对反射相干光谱进行理论分析,给出计算公式,从测量曲线中的实验值得出薄膜的光学常数7、a 以及厚 度等参数。此种方法简单可行,而且易于编程处理。主题词 薄膜, 反射干涉光谱, 折射率, 厚度 1999-09-06收,2000-01-22接受;杨 鹏,1970年生,复旦大学研究生 引言 对于薄膜厚度和折射率的测量,现在通常利用的是棱镜 耦合导模法和椭偏法。棱镜耦合导模法通过测量波导内传播模式的耦合角度获得膜厚及折射率,利用耦合模来测量,测量精度与耦合模数目有关,一般要求做到厚膜以形成多个光导模;椭偏法由于对膜厚的均匀性要求比较高