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传感器与检测技术
项目四
项目四电容式传感器的应用
电容式传感器在位移检测中的应用
电容式湿敏传感器在空气湿度检测中应用
任务一电容传感器在位移检测中的应用
在机床主轴的回转精度不但对于精加工零
任务书
件的形状精度和表面光洁度有着很大的影
响,而且也是评价机床精加工能力的重要
指标之一。利用电容式传感器对机床主轴
进行回转精度的测量(位移检测),以便
预测机床在理想加工条件下所能达到的最
小形状误差和粗糙度,判断产生加工误差
的原因。
电容式传感器的工作原理
ε—极板间介质的介电常数;
e=sos,Eo为真空中的介电常数
E为相对介电常数
图0401-001-01平板
型电容器
S—两平行板所覆盖的面积
c Es 88,Sd—两平行板之间的距离
C—电容量,单位为F;
带电极板,其电容与面积、介电常数成正比,与
极板间距成反比。故电容传感器可分为:变极距型、
变面积型和变介电常数型三种
1.变极距型
△d
a)初始电容值
as
图0401-00102变极距式电容传感器
b)电容受外力作用,极距减小△d电容器容量变为
o+△C=do-d(1-lo
c)极距增加Δd电容器容量变为
1+
△d
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