制程真空系统简介[文字可编辑].ppt

31 ２．真空度： 厂务制程真空系统使用点之真空度一般在 700~600mmHg.G 左右 真空泵浦之选定方式： １）决定真空泵之抽气量： 泵浦之抽气量 Qp=Q× 安全系数 × 同时使用率 同时使用率： 0.7~1 ，依产业特性而定，故需与 使用者或业主研讨确认安全系数： 10~20% 32 一般言之厂商真空泵浦型录上抽气量之基准多为20℃ 1atm （即 STP 状态）下之风量，若无法确认真空泵浦型录上抽气量之基 准为何，必须特别与供应商再确认。 另若采用水封式真空泵浦则其性能会依补给水温度不同而产 生变化，故补给水温在15℃以上时，以下述公式修正抽气量： ℃ ℃ V15 S V S 15 S p P P P P K Q K Q ? ? ? ? ? K ：空气减低系数 Qs15℃：补给水温15℃时之真空泵浦抽气量 Ps ：真空度（绝对压力） Pv ：计划补给水温的水蒸气压 Pv15℃：水温15℃时水的蒸气压 33 ３．真空桶槽容量之选定： 为使系统能提供一稳定之真空度及防止吸入异物，故 于真空泵浦入口前需设一真空 Buffer Tank ，其桶槽体积计算 如下： V=Qs× t V ：真空桶溶剂（ M3 ） Qs ：真空泵浦抽气速率（可由真空泵浦之性能曲线上 求得） T ：设定时间（ min ），包括马达启动时间、泵浦抽气 速率……等因素考量，通常选用 12sec 作为设计依据 例：设 Qs=1200CMH ，则应选择多大之真空桶槽？ Ans ：Qs=1200CMH=20CMM→V=20 × 12/60=4 M3 34 ４．配管： １）材质：配管材质可选用镀锌钢管或 PVC 厚管， 一般均采用 PVC SCH80 管。 ２）管径：管径大小以风速小于 15m/s 决定之，且管 径最小不小于φ15A。 ３）配管的容许压力损失（△ TP ）： 通常一般容许之压力损失为指定压力之 5% ，但是有的 时候允许之上限可提高 10% ，所以容许之压力降为多少应 视情况而定，例如： a ）运转成本之考量 b ）初期投资金额之考量 c ）泵浦是否能提供额外压力去克服压降 35 ４）流量： V=Q × α V ：流量 Q ：抽气量 α：同时使用率，视产业特性而定，故需与使用者讨 论决定之（以彩色滤光片厂而言，其 同时使用率为 100% ），一般情况下α之建议值如 下： 主管： 90~100% 副主管： 90~100% 支管： 100% 36 ５）配管尺寸选择： 依上述内容决定个点之流量及各 Main 、 Submain 及支管流量后，视使用点真空度之要求， 由配管尺寸选定线图（ 1 ） ~ （ 4 ）或配管尺寸选 定表来选定管路尺寸。 配管之最小管径不得小于 15A 。 37 ４）流量： V=Q × α V ：流量 Q ：抽气量 α：同时使用率，视产业特性而定，故需与使用者讨论决定之（以彩色滤光片厂而言，其 同时使用率为 100% ），一般情况下α之建议值如下： 主管： 90~100% 副主管： 90~100% 支管： 100% ５）配管尺寸选择： 依上述内容决定个点之流量及各 Main 、 Submain 及支管流量后，视使用点真空度之要求， 由配管尺寸选定线图（ 1 ） ~ （ 4 ）或配管尺寸选定表来选定管路尺寸。 配管之最小管径不得小于 15A 。 ５．真空设备及系统图： 水封式真空泵浦： 38 水封式真空泵是一种无脉动式的真空泵浦，它是以水环当作活塞，将气体吸入再压缩 排出。 泵浦叶轮的中心与汽缸的中心特别设计为偏心配置，当叶轮转动时，封液会在汽缸内 形成一水环；由于偏心的缘故，叶轮的叶片插入水环的深度会改变，使得水环如同活塞般 在两叶片间上下动作，因此从入口吸入的气体会逐渐被压缩至出口排出于大气，达到抽取 真空的目的。整个的抽气、压缩、排气的动作均无阀门控制，同时也没有金属的相互摩擦， 完全靠水环与叶轮的相对运动来完成。 b ）油叶