金属半导体与半导体异质结.pptVIP

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第九章金属半导体和 半导体异质结 第九章金属半导体和半导体异质结 9.1肖特基势垒二极管 9.2金属半导体的欧姆接触 93异质结 9.1肖特基势垒二极管 (b)采用金属搭接 (a)简单接触 肖特基势垒二极管示意 图 91.1性质上的特征 x E 金属 N型半导体 金属和n型半导体接触前的平衡态能带图 基本概念 真空能级E:电子完全脱离材料本身的束缚所需的最小能量 功函数:从费米能级到真空能级的能量差 电子亲和势:真空能级到价带底的能量差 金属的功函数 Pm= Eo-EFM [从36cV(Mg)~515eV(N) 半导体的亲和势 x,=E-EC(表面) 半导体的功函数Ge,Si,GaAs:4.134.014.07eV P=x+lEC-ErsI

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