高真空泵浦简介.pptVIP

31 1 24 th March. 2010 2 1. 高真空定 义 以及高真空 泵 浦分 类 2. Turbo Pump 的介紹以及使用上的注意事項 3. DP 的介紹以及使用上的注意事項 4. 低温 泵 浦介紹以及使用上的注意事項 項目 3 高真空泵浦分类 ? 1. 高真空定义 压力在 1 × 10 -3 到 1 × 15 -6 毫米汞柱范围内的真空 ? 2. 高真空分类 1 、分子泵 2 、扩散泵 3 、低温泵 4 5 ? TMP 的構造及特長 ? 回転体はタービン翼とネジ 部からなる複合型。 ?取付け方向は全方位自由 な、５軸制御形磁気軸受を 採用。 ROTOR 為一體成型 1 轉子： 2 葉片間距與寬度比 3 葉片與轉動盤面之角度 4 壓縮級的數目 例： Ar 平均速度： 390m/s(15 ℃ ) ROTOR の周速度 250 ～ 400 m/s. STATOR 翼 ROTOR 翼 ? PUMP 的排氣原理 (1) 依據 ROTOR 的旋轉運動 , 給予氣體分子朝特 定方向 ( 排氣口端 ) 運動的能量 7 ? PUMP 的排氣原理 (2) 粘滯流及分子流 λ ：平均自由 徑 粘滯流 ： 藉由氣體分子間反覆地相互碰撞推擠而 移動 ? 分子流 ： 藉由氣體分子反覆地向管壁衝撞及 反射而移動之 ? ターボ分子ポンプは?分子流れのこ の特性を利用して排気します? 8 ?磁浮控制原理 (1) 依 SENSOR 電壓的變動來控制供給磁石的電流 , 使磁浮體保持在中心位 置 . 9 ?感應型 SENSOR(2) 旋轉體的位置若有變動 , 線圈會感應而隨之變動 . 此變動是指 電能轉換成動能 . 10 ?磁浮控制單元 (3) 電磁石 変位 SENSOR ROTOR(SHAFT) 根據 SENSOR 檢測出旋轉體位置的訊號 , 透過磁石 , 對 SHAFT 的 另一端做吸引的動作 , 使磁浮對象浮到中心位置 . 11 ?五軸控制 , 全方位安裝 12 ? Rotor,Stator 及其他零件間的空隙 因 Rotor 與 T/D Bearing 的間 隙為最小 . 藉此可防止 Rotor 或 Stator 與其他零件相互接 觸 . 13 ? 停電時的動作 發生停電時 , 由 rotor 的回轉的動能持續發電 , 繼續磁浮控制 . 平常運轉時的電流 停電時的電流 PUMP 14 ? 停電時動作的時間変化 磁捊控制持續同時做減速動作 , 直到一定的回轉數時 , 發電能力即完全消失 , 而 touch down 於 bearing 之上 , 之後再藉由 T/D Bearing 的回轉抵抗緩緩的減速直到完 全停止 ? 停電時動作 通常停止時動作 15 16 1.cable 要確實安裝插入 Pump,controller 及 cable 間有互換性? 在做更換時 , 請務必確認 cable connector 有確實安裝好 . 17 2. 請在規定的容許壓力下使用 . MF C process gas venting gas (inert gas) less than 1500SCCM purge gas(inert gas) 20 ～ 30SCCM process chamber throttle valve main valve fore valve bypath valve venting gas (inert gas) less than 1500SCCM Dry pump TMP 吸気口圧力 : 67 Pa* – 2019LM 200 Pa* – 403LM 排気口圧力 : 270 Pa* - 2019LM 400Pa* - 403LM 18 3. 其他的使用注意事項 如有以下的狀況發生時會導致 pump 故障 , 故請避免之 . a) 避免抽含有 Ga( 镓 ) Gas 的氣體?（如有此需求 , 請與 SMZ 連絡） b) 避免抽固態異物 c) 避免堆積多量之反應生成物 d) 避免給予強大的外部振動 ( 許容最大値 : 0.1G/50Hz ) e) 避免於強大的磁場中運轉 ( 許容最大値 : 半径方向 3mT 軸方向 15mT) f) 避