常见精密加工与超精密加工方法.pdf

常见精密加工与超精密加工方法、精度与应用来源： 作者： 时间：2008-05-04 Tag ： 点击： 90 分类加 工方法加工刀具精度/ μm 表面粗糙度 Ra/ μm 被加工材料应 用 刀具切削加工切削精密、超精密车削天然单晶金刚石刀具、人造聚晶金刚石刀具、立方氮化硼刀具、陶瓷 刀具、硬质合金刀具 1～0.10.05～0.008 金刚石刀具、有色金属及其合金等软材料，其他材料刀具，各种材 料球、磁盘、反射镜 精密、超精密铣削多面棱体 精密、超精密镗削活塞销孔 微孔钻削硬质合金钻头，高速钢钻头 20～100.2 低碳钢、铜、铝、石墨、塑料印刷线路板、石墨模具、喷 嘴 磨料加工磨削精密、超精密砂轮磨削氧化铝、碳化硅、立方氮化硼、金刚石等磨料砂轮 5～0.50.05～0.008 黑色金属、硬脆材料、非金属材料外圆、孔、平 精密、超精密砂带磨砂带平面、外圆磁盘、磁头 研磨精密、超精密研磨铸铁、硬木、塑料等研具，氧化铝、碳化硅、金刚石等磨料 1～0.10.025～0.008 黑 色金属、硬脆材料、非金属材料外圆、孔、平 油石研磨氧化铝油石、玛瑙油石、电铸金刚石油石平 磁性研磨磁性磨料 10～10.01 黑色金属外圆 去毛刺 滚动研磨固结磨料、游离磨料、化学或电解作用液体黑色金属等型腔 抛光精密、超精密抛光抛光器 氧化铝、氧化铬等磨料 1～0.10.025～0.008 黑色金属、铝合金外圆、孔、平 弹性发射加工聚氨酯球抛光器、高压抛光液 0.1～0.0010.025～0.008 黑色金属、非金属材料平面、型 液体动力抛光带有楔槽工作表面的抛光器 抛光液 0.1～0.010.025～0.008 黑色金属、非金属材料、有色金属 平面、圆柱 水合抛光聚氨酯抛光器 抛光液 0.1～0.10.01 黑色金属、非金属材料平 磁流体抛光非磁性磨料 磁流体 0.1～0.10.01 黑色金属、非金属材料、有色金属平 挤压研抛粘弹性物质 磨料 50.01 黑色金属等型面、型腔去毛刺、倒棱 喷射加工磨料 液体 50.01～0.02 黑色金属等孔、型腔 砂带研抛砂带 接触轮 1～0.10.01～0.008 黑色金属、非金属材料、有色金属外圆、孔、平面、型 超精研抛研具(脱脂木材，细毛毡) 、磨料、纯水 1～0.10.01～0.008 黑色金属、非金属材料、有色金属平 超精加工精密超精加工磨条 磨削液 1～0.10.025～0.01 黑色金属等外圆 珩磨精密珩磨磨条 磨削液 1～0.10.025～0.01 黑色金属等孔 特种加工电火花加工电火花成形加工成形电极，脉冲电源、煤油、去离子水 50～12.5～0.02 导电金属型腔 模 电火线切割加工钼丝、铜丝、脉冲电源、煤油、去离子水20～32.5～0.16 冲模、样板(切断开槽) 电化学加工电解加工工具极(铜、不锈钢) 电解液 100～31.25～0.06 导电金属型孔、型面、型腔 电铸导电原模 电铸溶液 10.02～0.012 金属成形小零件 化学加工蚀刻掩模板、光敏抗蚀剂、离子束装置、电子束装置 0.12.5～0.2 金属、非金属、半导体刻线、图 形 化学铣削刻形、光学腐蚀溶液、耐腐蚀涂料 20～102.5～0.2 黑色金属、有色金属等下料、成形加工(如印刷 线路板) 超声加工超声波发生器、换能器、变幅杆、工具 30～52.5～0.04 任何硬脆金属和非金属型孔、型腔 微波加工针状电极(钢丝、铱丝) 、波导管 106.3～0.12 绝缘材料、半导体打孔 红外光加工红外光发生器 106.3～0.12 任何材料打孔、切割 电子束加工电子枪、真空系统、加工装置(工作台)10～16.3～0.12 任何材料微孔、镀膜、焊接、蚀刻 离子束加工离子束去除加工离子枪、真空系统、加工装置(工作台)0.01～0.0010.02～0.01 任何材料成形表面、 刃磨、蚀刻 离子束附着加工 1～0.10.02～0.01 镀膜 离子束结合加工　　注入、掺杂 激光束加工激光器、加工装置(工作台)10～16.3～0.12 任何材料打孔、切割、焊接、热处理 复合加工电解精密电解磨削工具极、电解液、砂轮 20～10.08～0.01 导电黑色金属、硬质合金轧辊、刀具刃 磨 精密电解研磨工具极、电解液、磨料 1～0.10.025～0.008 平面、外圆、孔 精密电解抛光工具极、电解液、磨料 10～10.05～0.008 导电金属平面、外圆、孔、型 超声精密超声车削超声波发生器、换能器、变幅杆、车刀 5～10.1～0.01 难加工材料外圆、孔、端面、型 精密超声磨削超声波发生器、换能器、变幅