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戛重重
刻蚀专项报告一过料
饶市光电高科技有限公司
SRPV High-tech Co, Ltd
主要内容
RPV
●过刻的定义
●过刻的不良影响
●过刻的类型、产生原因及处理方法
●总结
1过刻的定义
RPV
过刻,也叫多刻。是指在刻蚀过
程中刻蚀线超出范围(一般为1.5mm
以不超过丝印栅线为准)所产生的
种返工类型,有些公司也将减薄量超
过范围包含于过刻,这里只讨论第
种情况。由于过刻对电池片电性能影
响很大,同时还会影响电池片外观,
所以必须对过刻加以控制并进行返工
处理。
过刻的不良影响
RPV
上图是一角过刻后经丝印的电池片,其效
率与产线上相差不大,但外观形成脏污,降级
为B类。由于过刻类型有很多种,所以过刻对
电性能的影响也不同,效率大多都偏低,但程
度不一。因此,有必要对过刻片进行返工处理。
过刻的主要类型及形成原因
RPV
过刻有好几种类型,不同类型的过
刻片形成原因也各有不同。总体来讲
可分为以下几类(按形成原因分)
1.因排风异常引起
2.因设备异常引起
3.因刻蚀槽循环管冒泡引起
4.因药液浓度异常引起
5.因循环流量异常引起
6.因药液滴落引起
7.其他原因引起
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