材料微观形貌剖析.pptVIP

③大学 材料分析化学 第6讲 扫描电镜分析原理 朱永法 清华大学化学系 2002.11.15 ③大学 形貌分析简介 材料的形貌也是材料分析的重要组成部 分,主要分析材料的儿何形貌,材料的 颗粒度以及颗粒度的分布等方面。 扫描电子显微镜 透射电子显微镜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 清华大学化学系 材料与表面实验室 ③大学 扫描电镜分析 扫描电子显微镜是最常用的显微形貌分 析仪器之 二次电子象 背散射电子象 吸收电流象 透射电子象等信息 清华大学化学系 材料与表面实验室 ③诱大学基本知识 由于可见光波的波长在500mm左右,其衍射效应 使得光学显微镜的分辨本领不能小于200nm。 显微镜的分辯本领:d=0.61×/( nino),由此 可见显微镜的分辩本领与光的波长成正比。当光 的波长越长,其分辨率越低。只有采用比较短的 波长的光线,才能获得较高的放大倍数 电子波=(1.50/E)12nm。 当加速电压为100kV时,电子的波长仅为 0.0037nm;当E=30KeV时,入≈0.007mm 电子显微镜可以获得很好的高分辨率图像, 0.5nm 清华大学化学系 材料与表面实验室 ③第大学显微镜的工作原理 荧光 电子枪 放大镜 A 透镜系 样品 却描系、测 扫描 聚光 拌品起 米光源 放大潺 图8-1(a)光学显微镜和 图8-1(b)扫描电子显微镋 透射电子显微镜的成象原理 的成