电子束和固体样品相互作用.pptVIP

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电子束与固体样品相互作用 2000an百 411请B以点器 圆公共主页 在A引州 射电子 背散射电子 特征X射线 二次电子 俄歇电子 试样 吸收电子 透射电子 电予束与固体样品作用时产生的信号 圆公共主 背散射电子 定义:被固体样量中的原子反弹回来的 部分入射电子 分类:弹性和非弹性 应用:于样品表层几百纳米范围。它 的受额原子序数增大而增多。所以不仅 能舨貌分析,而且可以用来显示原子序 数衬塵,定性地用作成分分析 圆公共主 背散射电子 (a)原了核对入射电了的弹性散射;(b)核外电子对入射电子的非弹性散射 圆公共主 背散射电子 弹性杳数射电子非弹性背散射电子 位原该反弹回来受核外电子權击产生 是否 改变 是否横失量本不失 数量 圆公共主

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