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电子能镨分析
第一章Ⅹ射线光电子能谱
第二章俄歇电子能谱
固体表面的化学组成和体内不完全相同,甚至完全不同,
造成这种差别的原因主要有:
★表面原子(或离子)化学键部分断裂(悬挂键),
能量状态与体内不同;
★外来物在表面的吸附、污染
★表面的氧化、腐蚀和摩擦
★人为加工的表面,如离子注入、钝化和各种涂层。
因此,在实际应用中,人们要对材料和器件工作表面的
宏观性能做出正确的评价与理解,首先必须对各种条件下表
面的化学组成和化学状态进行定性和定量的测定和分析
固体表面状态,包括表面成分、结构、配位、化学键性、
能带、电子态等等,对材料的许多物性以及相关的应用和
理论都有非常重要的意义。
人们早就十分关注固体表面问题,但一直受到实验手段的
局限,主要是缺乏在原子水平表征、研究材料成分、结构、
状态和性能的直接手段
电子能谱主要用于研究≤2-5nm尺度的表面成分与状态。
什么是电子能谱分析法?
电子能谱分析法是采用单色光源(如X射线、紫外光)
或电子束去照射样品,使样品中电子受到激发而发射出
来,然后测量这些电子的产额(强度)对其能量的分布,
从中获得有关信息的一类分析方法
本篇主要介绍X射线光电子能谱法( k-ray Photoelectron
Spectroscopy,XPS)和俄歇电子能谱法( Auger Electron
Spectroscopy, AES
第一章X射线光电子能谱
X射线光电子能谱法(XPS),因最初以化学领域应用为主要目
标,故又称为化学分析用电子能谱法(ESCA)。
XPS是由瑞典 Uppsala University的物理学家KaiM. Seigbahn
带领他的学生及同事于1962年首次建造,并历经20年研究发展
起来的
X-ray Source
photoelectrons
KE.=hv-BE.·中
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