透明导电薄膜 之原理及其的应用发展.pptVIP

透明導電薄膜(TCO) 之原理及其應用羲展 HW 2008/04/17 Outline 1.ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹 透明導電氧化物( Transparent Conductive Oxide,TCO 2.TCO的導電原理 3.TCO的光學性質 4.TCO薄膜之市場應用及發展 1.ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹 透明導電氧化物( Transparent Conductive Oxide,TCO 2.TCO的導電京理 3.TCO的光學性質 4.TCO薄膜之市場鹰用及未來發展 什麽是透明導電薄膜? 在可見光波長範园内具有可接受之透光度 以 flat panel display而→透光度愈高愈好 以 solar cell而→太陽光全波長範圍之透光度及熱穩定性 具有導電特性 電阻比( resistivity)愈小愈好,通常p10+g2cm 一般而,導電性提高,透光度便下降,反之亦然。可見光 範国具有80%以上的透光率,其比電阻低於1×1049cm,即 是良好透明導電膜。 透明導電薄膜 純金屬薄膜 yAu、Ag、Ptcu、Alcr、pdRh,在1onm厚度的薄膜 均有某種程度的可見光透光度 √早期使用之透明電極 √缺黠:光的吸收度人硬度低、穩定性差 T%80 wavelength(nm)