物性型传感器4教学材料.ppt

第4章 物性型传感器 ;4.1 压电式传感器;表4-1 常见的压电材料及性能 ;图4-1 石英晶体 （a) 石英晶体外表； (b) 石英晶体切片 ;　　2） 纵向压电效应 　　对X切族的晶体切片， 当沿电轴方向有作用力Fx时，在与电轴垂直的平面上产生电荷。在晶体的线性弹性范围内，电荷量与力成正比， 可表示为 ;图4-2 石英晶体切片受力与电荷极性的关系示意图 ;　　3） 横向压电效应 　　如果沿y轴施力为Fy时，电荷仍出现在与x轴垂直的平面上， 其电荷量为 ;　　3. 压电陶瓷的压电效应 　　压电陶瓷属于铁电体物质，是一种人造的多晶体压电材料。 它由无数细微的电畴组成。在无外电场时，各电畴杂乱分布， 其极化效应相互抵消，因此原始的压电陶瓷不具有压电特性。 只有在一定的高温(100～170℃)下，对两个极化面加高压电场进行人工极化后，陶瓷体内部保留有很强的剩余极化强度， 当沿极化方向（定为z轴）施力时，则在垂直于该方向的两个极化面上产生正、 负电荷，其电荷量Q与力F成正比，即 ;图4-3 压电陶瓷片 ;表4-2 三角牌压电蜂鸣器的特性 ;　　4. 高分子压电材料（PVDF） 　PVDF有很强的压电特性，同时还具有类似铁电晶体的迟滞特性和热释电特性， 因此广泛应用于压力、 加速度、 温度、 声和无损检测等领域。 尤其在医学中， 由于它与人体声阻抗十分接近， 无需阻抗变换， 且便于和人体贴紧接触、 安全舒适、 灵敏度高、 频带宽， 故广泛用作脉搏计、 血压计、 起搏计、 生理移植和胎心音探测器等传感元件。 PVDF有很好的柔性和加工性能， 可制成有不同厚度和形状各异的大面积有挠性的膜， 适于做大面积的传感阵列器件。PVDF分子结构链中有氟原子， 使其化学稳定性和耐疲劳性高、吸湿性低，并具有良好的热稳定性。 ;4.1.2 电荷放大器 　　1. 压电元件的等效电路和电路符号 　　如图4-4所示，当压电片受力时，在两电极表面出现等量而极性相反的电荷，根据电容器原理，它可等效为一个电容器。 当两极板聚集一定电荷时，两极板就呈现一定的电压。因此， 压电元件可等效为一个电荷源Q和一个电容Ca的并联电路；也可等效为一个电压源Ua和一个电容Ca的串联电路?? 图（d）为压电元件的电路符号。 由于材料存在泄漏电阻Ra，压电片的电荷不可能长久保存，只有外力以较高频率不断作用，传感器的电荷才能得以补充。因此，压电式传感器不适用于静态测量， 在测量交变信号时，也应该注意其下限频率范围， 常用于加速度和动态压力的测量。 ;图4-4 压电元件的等效电路 (a) 原理图； (b) 电荷源； (c) 电压源； (d) 电路符号 ;　　2. 电荷放大器 　　压电式传感器测量电路的关键是高输入阻抗的前置放大器， 它有电压放大器和电荷放大器两种形式。考虑到压电片的泄漏电阻Ra、连接电缆的等效电容Cc、前置放大器的输入电阻Ri和输入电容Ci，其等效电路如图4-5的左半部分所示。由于电压放大器输出电压与电缆分布电容有关，故目前多采用电荷放大器。 电荷放大器是一个电容深度负反馈的高增益运算放大器，其原理电路如图4-5所示。 ;　　图中，Cf为反馈电容，与Cf并联的Rf用于为Cf提供电荷泄放回路和为运算放大器反相输入端的偏置电流提供回路。 Rf的阻值由Cf的放电时间常数确定。 一般，Rf取10kΩ～10 MΩ，Cf在50～104pF范围内，电路能稳定地工作。由于运算放大器的增益A和输入电阻Ri都很大，根据放大电路原理，当（1+A） Cf >>Ca+Cc+Ci、ωCf >>1/ Rf时，电荷放大器的输出电压为 ;图4-5 电荷放大器的原理电路 ;4.2 超声波传感器 ;　　超声波可分为纵波、横波和表面波。质点的振动方向和波的传播方向一致的波称为纵波，它能在固体、液体和气体中传播。质点的振动方向和波的传播方面相垂直的波称为横波， 它只能在固体中传播。质点的振动介于横波和纵波之间，沿着表面传播，振幅随着深度的增加而迅速衰减的波称为表面波。 　　超声波在介质中的传播速度取决于介质密度、 介质的弹性系数及波型。一般来说， 在同一固体中横波声速为纵波声速的一半左右，而表面波声速又低于横波声速。当超声波在某一介质中传播，或者从一种介质传播到另一介质时，遵循如下一些规律： ;　　（1） 传播速度：超声波的传播速度与波长及频率成正比， 即声速为 ;　　（3） 超声波的反射与折射： 当超声波从一种介质传播到另一种介质时， 在两种介质的分界面上，会发生反射与折射。同样遵循反射定律和折射定律：入射角与反射角、折射角的正弦比等于入射波速与反射波速、折射波速之比。  　　（4） 超声波的波形转换： 若选择适当的入射角， 使纵波全反射， 那么在折射中只有横波出现； 如果横波也全反射，