超声波加工以及机床设计-机械设计论文.pdf

1. 绪论 1.1 论文的提出及其应用价值 1.1.1 课题所属研究领域 由于各种新材料、新结构、形状复杂的精密机械零件大量涌现，对机械制造 业提出了一系列迫切需要解决的问题。对这些材料用传统加工方法十分困难，于 是产生了特种加工技术，双面超声波加工就是其中一种。 超声波加工(USM)是利用超声波振动工具在有磨料的液体介质中或干磨料中产 生磨料的冲击、抛磨、液压冲击及由此产生的气蚀作用来去除材料，或给工具或 工件沿一定方向施加超声波频振动进行振动加工，或利用超声波振动使工件相互 结合的加工方法。几十年来，超声波加工技术的发展迅速，在超声波振动系统、 深小孔加工、拉丝模及型腔模具研磨抛光、超声波复合加工领域均有较广泛的研 究和应用，尤其是在难加工材料领域解决了许多关键性的工艺问题，取得了良好 的效果。超声波加工非常适合于加工硬脆材料，而且不会损害工件表面，所以是 加工硅工件的理想方法[1]。 超声波加工方法是近50年来逐步发展的一种新型加工方法。在难加工材料和 精密加工中，超声波加工方法具有普通加工无法比拟的工艺效果，具有广泛的应 用范围。超声波加工技术横跨机械学、电学、和声学三个学科，因而可把超声波 加工视为交叉学科[1]。 1.1.2 课题的理论意义和应用价值 如今的一些材料，如硅晶体具有强度高、硬度高、耐磨损、耐腐蚀、耐高温、 比重低和自润滑等优良特性，已在电子、机械、能源、航空航天等众多领域显示 出相当广泛的应用前景。然而，硅材料的加工十分困难，尤其是对于具有复杂型 面的硅材料零件至今尚无有效的加工手段。目前硅材料的加工技术已成为制造业 研究的热点。 材料的加工技术中，金刚石磨削方法只能加工简单型面的零件，而对于较复 杂的型面，如有锐角要求的槽形零件和非回转体表面，就无能为力了；激光束加 工（LBM）技术虽然可用于硅零件的加工，但会使加工表面产生达50m 的微观裂 纹，很难适应航空航天重要零件的要求；此外，由于硅材料电导率低且化学稳定 性好的限制，使得电火花（EDM）及电化学（ECM）加工方法不适于加工硅零件。 而超声波加工（USM）不需工件导电，可加工任何超硬材料，且不属于热过程，对 1 加工表面损害极小，可稳定地加工出精度为 5m ，表面粗糙度为Ra≤O.51~0.76 m 的零件，已成为加工硅晶体最具潜力的方法之一[4]。 超声波加工(USM)是利用超声波振动工具在有磨料的液体介质中或干磨料中产 生磨料的冲击、抛磨、液压冲击及由此产生的气蚀作用来去除材料，或给工具或 工件沿一定方向施加超声波频振动进行振动加工，或利用超声波振动使工件相互 结合的加工方法[5]。 几十年来，超声波加工技术的发展迅速，在超声波振动系统、深小孔加工、 拉丝模及型腔模具研磨抛光、超声波复合加工领域均有较广泛的研究和应用，尤 其是在难加工材料领域解决了许多关键性的工艺问题，取得了良好的效果。 1.2 国内外超声波加工研究现状和发展趋势 超声波加工技术的研究最早可追溯到1927年R.W.Word和A.L.Looms的奠基性工 作，并于1954年由L.Balamuch研制出第一台超声波加工机床。 从50年代以来，许多国家都对这一技术进行了研究。日本政府设立了专门的 振动切削研究所，许多大学和研究机构也都设有这个研究课题。原苏联在这方面 的研究也较早，在超声波车削、钻孔、磨削、光整加工、复合加工等方面均有生 产应用，并取得了良好的经济效果。60年代初美国就开始了超声波加工的研究，70 年代中期，美国在超声波波钻中心孔、光整加工、磨削、拉管和焊接等方面，已 处于生产应用阶段:超声波车削、钻孔、镗孔已处于试验性生产设备原型阶段 ;通 用超声波振动切削系统已供工业应用，日前已形成部分标准。德国和英国也对超 声波加工的机理和工业应用进行了大量的研究工作，并发表了许多有价值的论文， 在生产中也得到了积极的应用[5]。 英国Harwe11国家原子能权威机构是此理论的早期探索者之一，他们的研究需 要在耐火材料成形的特殊陶瓷上钻一些1.016~25.4mm，传统机械加工的局限性激 发了他们探索新技术的兴趣。美国从1969年开始使用金刚石工具的超声波旋转加 工技术。 经过近40年的时间，各国的研究者们进行了许多实验，研究出控制参数（如 超声波波振幅、静压力、转速、金刚石类型、磨粒尺寸及连接类型等）与加工结 果（如材料去除率、工具磨损等）之间的关系。建立了有关材料去除的塑