电浆基础原理.pptVIP

下载本文档

53
0
约小于1千字
约 13页
2020-07-30 发布于湖北
举报
版权申诉

电浆基础原理.ppt

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

電漿基礎原理四電四乙 BD92077 王仁和電漿是什麼? 具有等量的正電荷和負電荷的離子氣體更精確的定義: 電漿就是有著帶電與中性粒子之準中性的氣體，電漿本身就是這些例子的集體行為電漿的成分電漿是由中性原子或分子、負電(電子)和正電(離子)所構成準-中性: ni ? ne 游離率: h ? ne/(ne + nn) 游離率游離率主要受電漿中的電子能量決定大部分電漿製程反應室，電漿的游離率小於0.001%. 高密度電漿(HDP)源的有較高的游離率, 約 1% 太陽核心的游離率約~100%. 離子化離子化的說明平均自由路徑(MFP) 粒子和粒子碰撞前能夠移動的平均距離平均自由路徑說明波茲曼分佈離子轟擊電子移動比離子快很多電子首先到達電極和反應室牆邊電極帶負電，排斥電子，吸引離子. 鞘極(sheath) 電位差會加速離子朝向電極移動，並造成離子轟擊. 鞘層電位報告完畢謝謝大家耐心的觀看 * * 在氣體中隨時存在之游離電子在電場下加速獲得能量電子與一個原子或分子相碰撞使一個軌道電子脫離核子的束縛產生更多之電子離子化碰撞產生電子和離子它維持穩定電漿