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法布里 — 珀罗干涉仪的原理 根据多光束干涉的原理,探测器上探测到的干涉光强的变化为 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2 sin 1 4 1 2 2 0 R R I I 式中, R 是反射镜的反射率; φ 是相邻光束间的相位差。 由上式可知,当反射镜的反射率 R 值一定时,透射的干涉光 强随 φ 变化。 当中 φ = 2n π (n 为整数 ) 时, 干涉光强有最大值。 可见, R 越大,干涉光强变化愈显著,分辨率愈高,这是 此技术的最大特点,它是最灵敏的位移测量装置。 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2 sin ) 1 ( 4 1 2 2 0 R R I I 当 φ = π ,3 π ,5 π …,(2m+1) π 时,干涉光强有最小值: [(1-R)/(1+R)] 2 I 0 ; 透射的干涉光强最大与最小之比为 [(1-R)/(1+R)] 2 。 可见,当 R 一定时,干涉光强随 φ 而变; 当 φ = 0,2 π ,4 π …,2m π 时,干涉光强有最大值 I 0 ; 法布里 — 珀罗光纤干涉仪 ? 法布里—珀罗光纤干涉仪如图所示。 ? 它与一般法布里—珀罗干涉仪的区别在于以光纤光程 代替了空气光程,以光纤特性变化来调制相位代替了 以传感器控制反射镜移动调相。 光纤法布里 — 珀罗滤光技术 ? 根据光学原理,假设有一束平行光以 θ 角倾斜入射到法 布里—珀罗标准具上,则当波长满足下条件时 ? ? m 0 0 ? ? ? ? ? ? ? ,... 2 , 1 cos 2 0 ? ? ? ? ? m m d n m ? ? ? d 是法布里—珀罗标准具厚度; n 是标准具平行板内的介质折射率; φ 是反射光的相位跃变。 透射光或反射光的强度达到极大值,其中 ? 从上式可以看出,当外界物理因素使标准具的厚度 d 或介 质折射率 n 改变时,透射带或反射带的波长λ 0 (m) 将会随 之改变。 ? 这样,标准具就成了一个有多个透射带 ( 或反射带 ) 的滤光 器。利用这一原理,可制成法布里珀罗颜色探头。 法布里珀罗颜色探头 ? ? ? ? ,... , cos 2 1 2 0 ? ? ? ? m m d n m ? ? ? ? ? 图是一种带有微型计算 机的波长调制光纤传感 器。 ? 由光源发出白光,光由 大芯径光纤送入标准具 传感探头; 法布里珀罗 颜色探头 法 — 珀标 准具传感 探 头 然后由光纤收集反射光并送入棱 镜分光计; 通过分光,在电荷耦合器件探测 阵列上检测到不同波长的光强度。 ? 一旦被测物理量发生变化, 法布里—珀罗标准具的间 隔厚度就会随之变化,从 而引起了反射带峰值所对 应的波长移动,微型计算 机通过程序的运行把变化 结果表示出来。 法布里珀罗 颜色探头 光强信息输入到微型计算机, 经处理后得到测量结果。 五、相位压缩原理及微分干涉仪 ? 上面提到的马赫—泽德、迈克尔逊、赛格纳克、法布 里—珀罗干涉仪是四种普通的干涉仪,它们都有几个共 同的缺点: ? 对温度敏感,需要长相干长度的光源、信号处理电路复 杂。 ? 另外,由于它们的干涉项是两束或多束干涉光和位差的 余弦函数,这就限制了它们的线性输出范围。 ? 一般的双光束干涉仪为了得到最大的灵敏度,常工作在 正交状态,这就意味着把干涉项的余弦函数转变成了正 弦函数。 相位压缩原理的提出 ? 如果把输出相位信号限定在干涉仪的线性范围内,那么 传感器的系统将大大地简化,它可以不采用复杂的电路 进行信号处理及相位补偿技术。 ? 下面要提到的相位压缩原理恰好能实现这种功能。 ? 基于相位压缩原理建立的微分干涉仪具有线性范围广、 信号处理电路简单,而且还对缓变的温度等环境因素不 敏感,并能使用短相干长度的光源等优点。 ? 相位压缩原理是指干涉仪测量的相位为 ? 干涉光束相位差的变化量, ? 而不是普通干涉仪的相位差。 ? 这可以通过在固定的时间间隔 τ 内测量相位差获得, 而时间间隔 τ 可以从延时光纤得到。 ? 所以,尽管输入调制信号超出了几个到几百个干涉条纹, 但它的相位差变化量都很小,仍能保证干涉仪工
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