MEMS技术及其的应用.ppt

MEMS技术及其应用  主要内容 MEMS技术简介 口MEMS技术应用 口微机槭制造技术 口MEMS器件  MEMS简  What is MEMS Technology? MEMS (microelectromechanical systems) are devices that involve integrated micro-devices or systems, usually comprised of electrical and mechanical components, produced using microelectronics-compatible batch-processing techniques These systems merge computation with sensing and actuation to perceive the physical world at a miniaturized level  MEMS定义 早在二十世纪六十年代,在硅集成电路制造技术发明不久,研究人 员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性,制造微型机械部件, 如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块 硅片上,就是微机电系统MEMS: Microelectromechanical Systemo 由于MEMS是微电子同微机械的结合,如果把微电子电路比作人 的大脑,微机械比作人的五官(传感器)和手脚(执行器),两者的 紧密结合,就是一个功能齐全而强大的微系统。