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第四章激光衍射测量和莫尔条纹技术
41激光衍射测量基本原理
★衍射现象:光波在传播过程中遇到障碍物时偏离
直线传播,绕到障碍物的几何阴影区的现象
光的衍射现象是来自同一波前不同点的子波干
涉的结果。
★两种类型的衍射现象:
菲涅耳衍射
夫琅和费衍射
Circular hole
Circular hole
Small
source
source
ens
creen
(a)
菲涅耳衍射:当光源和琅和费衍射:当光源和
衍射屏都离障碍物
衍射屏都离障碍物无限
有限远时,也称近
远时,也称远场衍射。
场衍射。
夫琅和费衍射计算简单,用处较多,以后所讨论的均为此
类衍射
2
√单缝衍射测量
a.单缝衍射测量原理
观察屏
激光
参考物
激光
被测物
(a)
(b
衍射强度分布为:
式中a=msin,O是行射角,,是行射角O=0时的行射
强度。
由上可知:
1衍射条纹平行于被测狭缝。
2当a=0土兀+2,…±m时,衍射为暗条纹。
b.测量微小尺寸原理
sLnb=K元
第K级暗条纹
sin b=tanb=
b sin 6=ka
L
k:零级条纹中心到第K暗条纹的距离,L:衍射
屏到狭缝的距离。
kL孔
bk=kL
或b
x
只要能精确地测出第K级暗条纹的xk,就能计算
出狭缝宽度b。
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