浙江师范大学LED芯片研发中心.pdfVIP

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2020-08-07 发布于陕西
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浙江师范大学LED芯片研发中心.pdf

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浙江师范大学 LED 芯片研发中心 “浙江师范大学LED 芯片研发中心” 超净室设备采购清单项性目能序号设备、材质及工程技术要求主要技术指标名要求壹、总体功能描述： 1. 自动检测气体是气体供应及防护系统是为PECVD和TCP设备安全供应气体，否泄漏；保证PECVD和TCP设备的正常使用，对工艺尾气作处理，且实 2. 自动警示气体泄现远程监控和报警。漏；二、需供气体及要求 3. 自动消除泄漏气 1.TCP刻蚀设备需供气体及要求体。 a.Cl2 ： 4. SiH4 的检测范围 2 为 0～20ppm ，壹段气压：1kg/cm ，最大流量：100sccm ，纯度：4N 管径：1/4VCRMale ，管材：SUS316 报警值为 2.5ppm ， b.BCl ：二段报警值为 3 2 5ppm ；气压：1kg/cm ，最大流量：100sccm ，純度：4N 管径：1/4VCRMale ，管材：SUS316 5. Cl2 的检测范围为防 2 0～ 2ppb,壹段报 c.He ：气压：1kg/cm ，最大流量：30sccm ，純度：4N 漏 2 警值为 0.25ppm ，气 CHF3 ：气压：1kg/cm ，最大流量：500sccm ，純度：4N 、体管徑：1/4VCRMale ，管材：SUS316 二段报警值为防供 d.Ar ，